【案例】高精密微米加工机床 微纳加工技术工艺

微纳加工技术是先进制造的前沿技术，但是受到基础装备、工艺技术、行业基础等多方面影响，中国的超精密加工技术与应用与世界先进水平之间仍有巨大差距。为解决微型零件加工需求，速科德创新研发了超高精密设备KASITE-SKD系列微纳加工中心，加工余量范围20nm-100μm。

超精密数控加工/超精密加工——传统加工中的“高精度”是指个位数微米级的公差。KASITE-SKD系列微纳加工中心采用了高精度高响应直线电机、光栅反馈（10nm/20 nm /50 nm /100 nm）、高转速高精度（≤1μm）高速电主轴和高倍率远心镜头，实现公差达到“亚微米”级的精度。

超精密加工是一种高度自动化过程，旨在对高度复杂的零件进行极其精确的成形。KASITE-SKD系列微纳加工中心自带CNC功能的运动控制卡编程运算各指令，并且自定义运动轨迹控制，编辑不同形状，自动完成零件加工需求。

此外，KASITE-SKD系列微纳加工中心采用了先进的上下相机视觉定位系统：

上相机标定刀具中心和相机中心误差，在线检测工件尺寸确定余量后进行微纳加工。

下相机具有对刀功能（静态刀具XYZ值的对刀）和刀具动态的刀摆补偿。

将超精密自动化加工与先进的视觉系统相结合，以实现高精度：

• 实现纳米量级材料去除的加工技术
• 实现特征尺寸从几微米到几百微米三维结构的加工
• 实现超高孔深系数的钻孔加工技术

行业应用

KASITE-SKD系列微纳加工中心广泛应用于航空航天、光学、生物医学、半导体、通用机械加工、模具制造等领域钻、铣、磨高精密加工。

加工案例

文章来源：速科德电机科技