果纳半导体“晶圆盒搬运装置及方法”专利公布

据天眼查公司透露，上海国纳半导体技术有限公司的“晶圆盒搬运装置及方法”专利于7月11日公布，申请编号为cn116417389a。

纪要显示，本发明专利晶片箱搬运装置及方法，公开，其中晶片箱子运输装置的驱动机制的作用下，沿着轨道移动的w行走机构组成，驱动机制行走机构位移检查机制的第1部设有位移检查。同步移动器具包括电动齿轮和齿轮，齿轮固定连接在钢轨上，齿轮安装在浮动机构上，浮动机构安装在步行器具上，可以与步行器具同时移动。

浮动机构可以推动齿轮与齿轮相对不同，齿轮上设有第二位移检测部，用以检测其位移。同步移动机构包括检查齿轮是否跳出来的检查部，位移修正装置，修正装置根据修正部的修正结果测定修正第一位移检测部或第二位移检测部的位移。

据悉，该发明的晶圆盒搬运装置及方法可以通过调整和修改移动铜的位移，保证移动铜位移的准确度。