微导纳米签3.86亿大单 向亿晶光电销售TOPCon电池设备

微导纳米签3.86亿大单 向亿晶光电销售TOPCon电池设备

微导纳米发布公告称与滁州亿晶光电（600537）科技有限公司签下大订单，价值人民币3.86亿的TOPCon电池设备销售合同。

作为国内原子层沉积技术的领军企业微导纳米的愿景是成为世界级的微纳技术解决方案装备制造商；正在一步一步坚定迈进。

江苏微导纳米科技股份有限公司（简称“微导纳米”，股票代码688147.SH）成立于2015年12月，是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖光伏、LED、集成电路，及MEMS 等泛半导体相关领域，以及新能源和柔性电子领域；主要产品为应用于光伏电池、硅基微显示、逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术，以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池整线的量产解决方案。2022 年12 月23 日，公司成功登陆上交所科创板。

公司荣获工信部 2021 年第三批专精特新“小巨人”企业、2021 年苏南国家自主创新示范区独角兽企业、2020 年度江苏省小巨人企业（制造类）等荣誉称号，并被认定为江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站、江苏省省级企业技术中心。在不断完善自有研发平台建设、持续巩固自身研发实力的同时，公司与上海交通大学、南京大学、芬兰赫尔辛基大学等知名院校建立了良好的合作关系，共同推进技术的创新发展。

自成立以来，公司通过不断吸纳国内外优秀人才和保持高水平研发投入，已在微米级、纳米级薄膜沉积核心技术领域具有丰富的技术积累。公司产品率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节，具备优良的产能提升能力与产品性能，在保障光电转换效率的同时，有效帮助下游电池片厂商大幅降低了设备投资额与生产消耗成本。在此基础上，公司继续深化开发对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，是国内首家成功将量产型High-k 原子层沉积设备应用于28nm 节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司，设备总体表现和工艺关键性能参数达到国际同类水平，并已获得客户重复订单认可，填补了我国在该项半导体设备上的空白。

公司也是国内少数能在短期内快速反馈并协助客户解决产线上技术问题的专用设备厂商之一，具备承担下一代光伏电池设备和半导体设备研发及产业化项目的技术储备和人才基础。公司将持续围绕市场需求，深化自主创新，加快核心技术攻关，进一步拓展并薄膜沉积技术的应用领域，推动高端技术装备的国产化、产业化，力争成为世界级的微纳制造装备领军企业。