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SJ6000激光干涉仪可以对机床的什么参数进行测量?

中图仪器 2023-01-12 15:12 次阅读
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SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体,具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

poYBAGO-ZpGAWHVcAAWZqlPp_94846.png对机床精度再校准poYBAGKm18qAcZqjAAIxfP-yrwY909.jpg斜床的倾斜轴测量poYBAGJnwE-AacrAAAQNxg0_BZs191.jpg测量机床直线度poYBAGJnwpyAX7JUAAR-XbpF-nU548.jpg测量机床偏摆角度

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