SJ6000激光干涉仪如何检查斜导轨机床？

SJ6000激光干涉仪采用双频氦氖激光器作为光源。其精度高，抗干扰能力强，空气湍流、热波动等影响甚微，因此降低了对环境条件的要求，使它不仅能用于实验室，还可在车间条件下测量大距离用。测量分辨率0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。

激光干涉仪可以检测数控车床定位精度和重复定位精度，但是激光干涉仪的常规光路搭建都是水平或垂直方向，如何检查斜导轨机床？

SJ6000激光干涉仪的线性附件——可调转向镜，能把水平射出的激光俯仰偏转25°以上，结合线性镜组可用于倾斜机床、三坐标对角线的测量。

可调转向镜

斜床身车床定位精度测量配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组（可调转向镜镜组）、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。

可调转向镜应用实例斜床的倾斜轴测量

产品功能

• 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
• 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
• 可实现对机床回转轴的测量与校准；
• 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
• 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
• 支持手动或自动进行环境补偿。

中图仪器以实现高精密仪器自主化为己任，SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。