湖南大学等发表柔性SAW传感综述论文，被期刊选为亮点论文

据麦姆斯咨询报道，近日，湖南大学段辉高教授团队联合英国诺森比亚大学傅永庆教授的综述论文《Flexible and Wearable Acoustic Wave Technologies》在应用物理国际顶级综述期刊Applied Physics Reviews （最新影响因子19.527）上发表（Appl. Phys. Rev. 10, 021311 (2023); doi: 10.1063/5.0142470），并被期刊选为Featured Articles (亮点论文)，湖南大学周剑副教授为该论文的第一作者。

声表面波（SAW）传感器是典型的MEMS传感器，在航空航天、智能工业等应力应变、温度、扭矩等物理参数传感，化学战剂痕量检测和高精度生物传感领域有着广泛的应用。相较于传统的硬质SAW器件，新型柔性SAW器件能贴附在曲面上进行弯曲曲面监测，在可穿戴传感、智能蒙皮等领域具有广泛应用前景。

本文在作者团队多年从事SAW器件的基础上，综述了柔性和可穿戴声波（特别是SAW）器件的基本原理、设计、制造和应用方面的进展。该论文重点讨论了高性能柔性和可穿戴SAW器件在材料选择（包括柔性衬底和压电薄膜）和结构设计方面的挑战，系统地总结了柔性SAW器件的制造策略、波模式理论、工作机理、弯曲应变行为和性能/评估方面的最新进展及其在柔性曲面监测用传感器、柔性声流控以及柔性芯片实验室系统中的潜在应用。最后，该论文综合分析了柔性SAW传感领域所面临的挑战，展望了柔性SAW传感器的未来发展前景与发展趋势。

图1 柔性SAW材料、器件和应用

图2 用于柔性SAW器件的柔性衬底和压电材料

图3 基于柔性SAW器件的应变传感器及其应用

湖南大学科研团队与英国诺森比亚大学傅永庆教授团队长期合作，近10年一直致力于柔性SAW传感器研究，曾制备了多款高性能柔性层状结构SAW器件，并先后开发了基于柔性SAW器件的柔性传感、柔性微流体系统、柔性片上实验室等应用。系列研究得到了国家自然科学基金、教育部联合基金、湖南省科技攻关等项目的资助，并得到浙江大学、深圳大学等科研团队的支持。

Applied Physics Reviews是美国物理学联合会（AIP）旗舰杂志，2022年IF为19.527，主要刊登关于应用物理学实验或理论研究中重要的和前沿主题的文章，以及物理学在科学和工程等其他分支的应用文章，是物理学领域著名学术期刊。

审核编辑 ：李倩