光学镀膜机可镀制的光学膜介绍

①减反射膜：例如，照相机、幻灯机、投影仪、电影放映机、望远镜、瞄准镜以及各种光学仪器透镜和棱镜上所镀的单层 MgF薄膜，双层或多层的由 SiOFrO2、AlO、 TiO₂等薄膜组成的宽带减反射膜。

② 反射膜：例如，大型天文望远镜的铝膜，光学仪器中的反射膜，各类激光器中的高反射膜等。

③分光镜和滤光片：例如，彩色扩印与放大设备中所用的红、绿、蓝三种原色滤光片上镀的多层膜。

④照明光源中所用的反热镜与冷光膜。

⑤建筑物、汽车、飞机上用的光控制膜、低反射膜。例如，Cr、Ti、不锈钢、Ag、TiO2、Ag-TiO₂，以及ITO 膜等。

⑥ 激光唱片与光盘中的光存储薄膜。例如，Fes1GesSOz磁系半导体化合物膜，TeFe Co 非晶膜。

⑦集成光学元件与光波导中所用的介质膜、半导体膜。

振华自动化磁控溅射镀光学膜设备介绍：

我司成功研发出SOM系列设备，是一款全自动化的磁控溅射镀光学膜设备。设备具有自动化程度高、载量大、产能大、稳定性高等优点。设备镀制膜层性能优越，可镀制多种/多重精密光学膜。

·设备介绍

1.自动化程度更高

自带回传闭环生产功能，配备可分隔的进出料腔，进料与出料同时自动进行；外设配备机械手上下载片。自动化程度高，生产效率快，大幅度减少人工成本。

2.载量、产能更大，能耗降低

默认配套24块载片，有效镀膜面积高达8平方米。与常规电子束蒸发光学机对比，其产能增加约50%，能耗降低约20%。

3、镀制膜层优势多，膜层性能优越

●可镀多种/多重精密光学膜：如AR膜、AS/AF膜、高反膜等高精度多层光学薄膜；

●镀膜品质好：配备独立镀膜腔，始终保持镀膜室的真空状态，有利于保证镀膜品质；

●膜层致密：采用磁控溅射镀膜技术，离子源能量高，膜层更致密，结合力更优；

●镀制膜层稳定性更高：设备配备了良好的抽气系统、稳定的电源输出、高稳定性的阴极系统、高速的工件旋转系统、精密的全自动程序控制系统，使得镀制膜层时具备极为稳定的沉积速率，保证膜层厚度精准，应力小，重复性好；

●硬度高：配备高能离子源，膜层反应程度高，可得到高纯化合物膜层，膜层硬度大幅提升：对比蓝宝石镀膜机，沉积膜层 SixNx纯度更高，硬度可达9H；

●膜系搭配灵活：可在线变更膜系工艺，满足不同工艺要求，节省工艺研发成本。

·行业应用：

SOM设备可沉积TiO2、SiO2、Nb2O5、NB、CR、Ni、 In、Ag、AF等材料，可实现各类光学彩膜、AR膜等膜系。

设备可广泛应用于手机盖板、车载玻璃显示屏、摄像头等玻璃类产品，电子烟雾化芯产品、树脂片等。

审核编辑：刘清