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划片机在测高过程中发生异常如何自查

陆芯晶圆切割机 来源:陆芯晶圆切割机 作者:陆芯晶圆切割机 2023-02-01 15:32 次阅读
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划片机在测高过程中发生异常如何自查

1,测高系统自检故障报警(模拟测高信号无法产生)

取下划片机右侧挂板,查看[碳刷]信号线与[底座]信号线分别是否连接正确。 两根碳刷信号线连接于主轴后方两根碳刷座上。两根底座信号线分别连接于底 座上。如果连接紧固,则检查主轴碳刷是否磨损过度。两根碳刷中若有一根不 能和主轴轴芯接触,都会引起此故障。确认碳刷磨损过多后更换碳刷即可解决问题。

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2,测高系统自检故障报警(①Switch 开关故障;②测高信号已产生!)

测高系统供电电平受干扰,检查直流供电系统。

3,测高时不抬刀或抬刀迟钝

清洁刀盘、吸盘、工作台表面,去除吸盘表面测高位置的污垢以及氧化层。

4,测高过程中出现意外信号

首先将刀盘附近的水分吹干净,确保刀盘旋转时不会甩出水滴。若故障依旧存在,检查主轴供气是否足够干燥,通过排放划片机后部三联件验证。如果能排出水分,则需要全部排尽,然后通气一段时间使主轴充分干燥。若故障依旧存在,则需要检查主轴包膜是否破损,使得主轴绝缘不佳。

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审核编辑黄宇

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