韩国公司研发出先进的石墨烯EUV薄膜
据韩媒BusinessKorea报道，一家小型韩国公司开发了一种石墨烯EUV薄膜，有望显著提高荷兰半导体设备公司ASML的极紫外（EUV）光刻设备的良率。
11月14日，半导体和显示材料开发商石墨烯实验室宣布，公司已经开发出用石墨烯制造小于5纳米的EUV薄膜的技术，并准备批量生产新的EUV薄膜。
光罩薄膜(Pellicle)是用于保护EUV工艺中使用的掩模的一种关键制品，它对于5纳米或以下的超微制造工艺至关重要，这也是一种需要定期更换的消耗品。据介绍，该EUV薄膜可保护光掩模表面免受空气中分子或污染物的影响，由于EUV设备的光源波长较短，因此EUV薄膜需要变薄以增加透光率。
硅以前已被用于制造EUV薄膜，石墨烯实验室CEO Kwon Yong-deok表示，石墨烯比硅更薄、更透明，石墨烯制的EUV薄膜将作为使用EUV光刻设备良率的助推器。
报道指出，全球EUV薄膜市场预计将在2024年达到1万亿韩元。“三星电子，台积电和英特尔是石墨烯实验室的潜在客户。”Kwon表示。
审核编辑 ：李倩
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
半导体
+关注
关注
336文章
29980浏览量
258263 -
石墨烯
+关注
关注
54文章
1612浏览量
84591
原文标题：韩国公司研发出先进的石墨烯EUV薄膜
文章出处：【微信号：深圳市赛姆烯金科技有限公司，微信公众号：深圳市赛姆烯金科技有限公司】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。
发布评论请先 登录
相关推荐
热点推荐
高精度TLM测量技术：在金属-石墨烯接触电阻表征中的应用研究
石墨烯作为最具代表性的二维材料，凭借其卓越的电学性能在高性能电子器件领域展现出巨大应用潜力。然而，金属-石墨烯接触电阻问题一直是制约其实际应用的瓶颈。接触电阻可占
保隆科技旗下保富电子荣获跨国公司研发中心认定
近日，第41批跨国公司地区总部和研发中心颁证暨外商投资集中签约仪式举行，上海市市长龚正为30家跨国公司地区总部和15家外资研发中心颁发认定证书。保隆科技旗下保隆霍富（上海）电子有限
人工合成石墨片与天然石墨片的差别
在电子设备散热领域，导热石墨材料的选择直接影响产品的性能和可靠性。作为国内导热材料领域的领军企业，合肥傲琪电子科技有限公司深耕行业十余年，其研发的人工与天然石墨片广泛应用于消费电子、航
发表于 05-23 11:22
石墨烯新材料在电力能源领域的研发应用已取得新突破
亿元。
记者近日了解到，目前石墨烯新材料在电力能源领域的研发应用已取得新突破，常温高导电复合材料具备产业化应用的基础。专家及业内人士认为，未来需进一步加强技术研发投入和人才储备，
EastWave应用：光场与石墨烯和特异介质相互作用的研究
图 1-1模型示意图
本案例使用“自动计算透反率模式”研究石墨烯和特异介质的相互作用，分析透反率在有无石墨烯存在情况下的变化。光源处于近红外波段。
模型为周期结构，图中只显示了该结构
发表于 02-21 08:42
一文速览石墨烯的奥秘
石墨烯属于二维碳纳米材料，具有优秀的力学特性和超强导电性导热性等出色的材料特性，英国曼彻斯特大学物理学家安德烈·盖姆和康斯坦丁·诺沃肖洛夫，由于成功从石墨中分离出石墨
石墨烯铅蓄电池研究进展、优势、挑战及未来方向
石墨烯铅蓄电池是将石墨烯材料与传统铅酸电池技术相结合的研究方向，旨在提升铅酸电池的性能（如能量密度、循环寿命、快充能力等）。以下是该领域的研究进展、优势、挑战及未来方向： 一、
Haydale石墨烯导电油墨：推动血糖监测技术的批量生产稳定性
在智能医疗和健康管理领域，精准血糖监测对于生产血糖监测设备的企业至关重要。为了满足对血糖监测精度和效率的更高要求，大连义邦公司采用Haydale石墨烯导电油墨，运用先进的
刘忠范院士团队研发新方法,成功制备大尺寸石墨烯
，石墨烯在非金属基板上的生长面临着一系列的挑战，特别是高密度的成核和低质量的薄膜问题。 鉴于此，北京大学刘忠范院士团队提出了一种创新的“预熔基板促进选择性刻蚀”（PSE）策略，成功解决了这些问题，使得
一文解析中国石墨烯的现状及未来
中国石墨烯现状 产业规模持续增长：中国石墨烯市场规模增长迅猛，2017年为70亿元，2022年达335亿元，同比增长26.42%，2023年约为386亿元。 企业发展态势良好：截至20
石墨烯发现到鸟粪掺杂石墨烯,未来将会如何？
of Graphene》的观点论文。这篇文章回顾了石墨烯发现的二十年历程，强调了这一材料在基础科学和应用技术领域的广泛影响。文中提到，石墨烯的独特性质，如超强的导电性和力学强度，使其
石墨烯的分类
石墨烯是一种由碳原子以sp²杂化轨道构成的二维纳米材料，具有独特的六角蜂窝状晶格结构。根据不同的分类标准，石墨烯可以分为多种类型： 按层数分类： 单层
石墨烯的基本特性,制备方法和应用领域
的方式键合形成单层六边形蜂窝晶格。它具有出色的导电性、导热性和机械强度，这些特性使得石墨烯在多个领域具有广泛的应用前景。 石墨烯的制备方法： 近年来，科学家们
石墨烯材料如何推动量产芯片的新时代？
石墨烯，这种因其多种结构、热学和电子特性而受到广泛赞誉的二维(2D)材料，已从实验室走向如今可供购买的量产微芯片。这标志着电子行业先进材料转型的早期阶段。这篇文章将介绍石墨
定向石墨烯复合防腐涂层的研究进展
近年来，由于石墨烯（Gr）制备技术的不断发展［1-2］，石墨烯的生产成本逐渐降低，这使其在有机防腐涂层领域的应用成为了可能。研究人员在石墨
工商网监
评论