CM300xi-ULN探针台在在片噪声测试领域中的应用

采用PureLine 3技术的新型CM300xi-ULN可消除97%以前探针台中的环境噪声，并从根本上改变7纳米以下前沿技术节点的实验室闪烁噪声测量

今天，我们正式推出一种300mm晶圆探针台CM300xi-ULN，该系统设计用于闪烁噪声（1/f）、随机电报噪声（RTN）和相位噪声的高精度测试。

此类噪声问题对先进模拟和数字IC技术造成的困扰日益增加，而该技术功率和性能的提高需要以降低噪声容许量为代价。因此，目前的器件设计和验证需使用高灵敏度设备仔细表征此类内部噪声源。上述探针台CM300xi-ULN通过消除97%以上的环境噪声为超低噪声测量建立了新的行业金标准。

使用新获得专利的PureLine™ 3技术，ULN探针台可降低32倍（1 kHz）的噪声，以改进5G及以上应用7/5/2nm技术节点的器件表征和建模。

当与噪声测试设备（闪烁噪声、RTN、相位噪声）集成时，CM300xi-ULN使用带有Contact Intelligence™的电动探针座可提供行业最高测试吞吐量，实现全自动DC和低频噪声测量，并采用多DUT布局完全实现全天候自动运行。

最后，CM300xi-ULN降低了低噪声测试单元优化的复杂性。只需通电即可开始测试。测试单元电源管理可消除测试单元所有接地回路感应噪声，并为整个系统、探针台和仪器提供全面管理和过滤的交流电源。

CM300xi-ULN探针台在在片噪声测试领域实现了四项重要的行业“第一”，包括：

• 第一款实现-190dB频谱噪声*的自动化探针台，可对新的高性能器件进行高精度噪声测量（*典型值，dBVrms/√Hz，1kHz至1MHz，含探针台和温控系统）
• 集成测试单元电源管理，可消除接地回路感应噪声，并为探针台和仪器提供全面管理和过滤的交流电源
• 在30um焊盘上完全自主进行闪烁噪声热测试，测试速度比上一代系统快4倍
• 客户现场调查和“低噪声”安装验证，可显著降低安装成本和工具部署时间

审核编辑：符乾江