华进半导体专利再次获评优秀奖
2022年6月10日，第十三届无锡市专利奖颁奖仪式在新吴区市场监管局二楼会议室召开，华进半导体凭借“一种采用CMP对以聚合物为介质层的大马士革工艺中铜沉积后的表面进行平坦化处理的方法”专利获评优秀奖。这是华进半导体继2019年获评“第二十一届中国专利奖银奖”、“第十一届江苏省专利项目奖优秀奖”之后荣获的又一专利奖项。
大马士革工艺被广泛应用于半导体设计制造中的铜线互连。常见的大马士革工艺流程一般为在硅基板表面生成介质层，然后刻蚀深孔，生成阻挡层，利用PVD的方法在深孔里沉积铜。而应用于TSV转接板中的大马士革工艺稍有不同，先用PVD生成铜种子层，再通过铜电镀工艺填满刻蚀孔。大马士革工艺最后都需要应用CMP去除表面的铜露出介质层完成铜导线的制作。
目前常见的介质层都是通过CVD生成的氧化物层，其工艺技术相对成熟，表面均匀性好，内部空谷易于控制，但成本高。而以聚合物为介质层的多重大马士革工艺由于聚合物表面平整度较差，因此只能应用于大尺寸线宽的多重布线技术（RDL），无法实现小线宽高密度集成的产品要求。
此次，华进半导体参评专利所提出的一种采用CMP对以聚合物为介质层的大马士革工艺中铜沉积后的表面进行平坦化处理的方法，发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种采用CMP对以聚合物为介质层的大马士革工艺中铜沉积后的表面进行平坦化处理的方法。
审核编辑：彭静
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
CMP
+关注
关注
7文章
160浏览量
27587 -
铜导线
+关注
关注
0文章
8浏览量
7580 -
华进半导体
+关注
关注
0文章
22浏览量
2620
发布评论请先 登录
相关推荐
热点推荐
博泰车联网荣获2025智輅奖智能座舱类优秀奖
近日，由汽车观察联合中国国际贸促会汽车行业委员会、中国汽车芯片产业创新战略联盟主办的2025智輅奖·中国汽车智能创新技术评选颁奖典礼落幕。博泰车联凭借第五代骁龙座舱平台(QAM8397P)，从100家科技企业中脱颖而出，获2025智輅奖
国星光电荣获第二十五届中国专利优秀奖
近日，国家知识产权局发布《关于第二十五届中国专利奖授奖的决定》，国星光电凭借发明专利“一种量子点发光器件及其制造方法” 荣获中国专利优秀奖。
德赛西威荣获第25届中国专利奖优秀奖
近日，国家知识产权局正式发布第二十五届中国专利奖授奖决定，惠州市德赛西威汽车电子股份有限公司参评的专利“一种车位显示辅助方法及系统（专利号：ZL201810087897.4）”荣膺中国
华阳通用荣获第25届中国专利奖优秀奖
近日，国家知识产权局对第二十五届中国专利奖授奖决定进行了公布。根据授奖信息，ADAYO华阳通用凭借“一种基于雷达测距模组的车辆可开合部件防碰撞方法”发明专利，荣获“中国专利
光峰科技两项发明专利荣获第二十五届中国专利优秀奖
6月8日晚间，科创板首批上市企业光峰科技发布公告，公司“显示设备”“投影畸变校正方法、装置、系统及存储介质”两项发明专利荣获“第二十五届中国专利优秀奖”。 资料显示，中国专利
水晶光电斩获第25届中国专利优秀奖
近日，国家知识产权局发布第二十五届中国专利奖授奖决定，水晶光电凭借授权发明专利“高折射率氢化硅薄膜的制备方法、高折射率氢化硅薄膜、滤光叠层和滤光片”，一举斩获中国专利
科华数据荣获中国专利优秀奖
近日，科华数据股份有限公司凭借其创新成果——“风电变桨系统及其供电方法、供电装置及控制模块”(专利号：ZL201910074609.6)，在第二十五届中国专利奖评选中脱颖而出，荣获中国
得一微荣获中国专利优秀奖
近日，国家知识产权局正式公示了第二十五届中国专利奖的评审结果，得一微电子及其全资子公司硅格半导体(简称得一微)凭借其在存储领域的深厚技术积累和创新能力，成功荣获中国专利
华进半导体荣获2024年度优秀会员单位称号
日前，新吴区应急管理局同新吴区应急与安全生产协会举办了一届二次会员大会暨年会，华进半导体作为会员单位受邀参加本次会议。基于2024年度在公司安全生产管理工作方面的出色表现，华
晶科能源荣获第25届中国专利奖优秀奖
近日，国家知识产权局公示了第二十五届中国专利奖的评审结果，晶科能源凭借专利“一种太阳能电池及其制备方法、光伏组件（专利号：ZL202111084159.2）”成功获得中国
中国专利奖结果公布：新声、中微等半导体企业入选
》规定，第二十五届中国专利奖共评选出中国专利金奖预获奖项目30项，中国外观设计金奖预获奖项目10项，中国专利银奖预获奖项目60项，中国外观设计银奖预获奖项目15项，中国
鲲云科技荣获第25届中国专利奖优秀奖
近日，国家知识产权局公示第二十五届中国专利奖名单，鲲云科技“一种用于识别人为动作的三维卷积装置”专利成果获中国专利
华进半导体荣获中国专利优秀奖
近日，国家知识产权局正式发布第二十五届中国专利奖评选通知，华进半导体一项名为“CN202010426007.5一种晶圆级芯片结构多芯片堆叠互
茂睿芯荣获国产模拟IC行业优秀奖
日前，茂睿芯受邀参加21世纪电源网举办的行业“千人半导体大会”-第十五届亚洲电源技术发展论坛，并荣获国产模拟IC行业优秀奖！
南芯科技荣获华勤“优秀质量奖”
近日，南芯科技（证券代码：688484）受邀出席 2025 华勤技术全球核心合作伙伴大会，并荣获由华勤授予的“优秀质量奖”，这是南芯连续第二年获
工商网监
评论