中微公司MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上全面投入量产

中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012)今日宣布其MOCVD设备迎来又一里程碑：Prismo UniMax MOCVD设备订单超100腔。Prismo UniMax MOCVD设备于今年6月正式发布，主要用于氮化镓(GaN)基Mini LED外延片量产。Mini LED可被广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。

中微公司所开发的Prismo UniMax MOCVD设备凭借优异的波长均匀性、高能效和高产能等优势迅速获得了市场认可;专业及时的现场支持和客户服务也是客户看重的优势之一。产品正式发布半年内取得超过100腔订单，这一卓越里程碑进一步巩固了中微公司在MOCVD设备市场的领先地位。

Prismo UniMax MOCVD设备专为高性能Mini LED量产而设计，通过创新的多区温度调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度上提升LED波长均匀性。此外，优化的喷淋头设计实现了更好的均匀性和产出稳定性，新一代直流电源进一步提升了电能转化效率。

Prismo UniMax具有行业领先的高产能和生产灵活性。设备配置了785mm大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计，最多可以同时加工 164片4英寸或72片6英寸外延晶片，能提高产能并有效降低Mini LED生产成本。Prismo UniMax在同一系统中可配备多达4个反应腔，每个反应腔都可以独立控制。

Prismo UniMax是中微公司MOCVD设备系列的最新产品，该系列产品还包括Prismo D-BLUE、Prismo A7和Prismo HiT3。2013年，Prismo D-BLUE作为当时国内率先自主研发制造的量产型MOCVD设备正式发布。此后，公司相继发布Prismo A7和Prismo HiT3产品。如今，中微公司的MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上全面投入量产。

中微公司执行副总裁兼首席运营官杜志游博士认为，Prismo UniMax被客户迅速采用主要归功于中微公司在MOCVD设备和工艺领域的持续创新，并与领先客户保持密切合作。“随着客户进一步拓展新的应用，我们很自豪能通过极具竞争力的技术解决方案，来满足客户Mini LED大规模量产的需求。这一里程碑充分证明了我们Prismo系列MOCVD设备的性能优势，以及我们在客户合作中体现的值得信赖的专业技能。”

Prismo D-BLUE, Primo A7, Prismo HiT3 and Prismo UniMax 是中微公司的注册商标。

关于中微半导体设备(上海)股份有限公司

中微半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称：中微公司，证券代码：688012)致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用，中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。

原文标题：中微公司Prismo UniMax® MOCVD设备订单超100腔

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审核编辑：汤梓红