0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

刻蚀机国产化率迅速提升,长江存储2020年达30%

中国半导体论坛 来源:中国半导体论坛 作者:中国半导体论坛 2020-12-29 16:34 次阅读

北方华创ICP刻蚀机累计交付1000腔

刻蚀机国产化率迅速提升,长江存储2020年达30%

半导体光刻与刻蚀论坛2020将于2020年12月30-31日召开。刻蚀设备与材料的国产化将是重要议题之一。

——北方华创ICP刻蚀机累计交付1000腔!

北方华创(Naura)官方宣布,ICP等离子刻蚀机第1000腔交付仪式近日在北京亦庄基地举行,NAURA刻蚀机研发团队见证了这一历史性时刻。

北方华创表示,这不仅是公司发展征程中的重要里程碑,更是国产刻蚀机在历经了20年自主创新后得到客户广泛认可的重要标志,未来会持续在等离子刻蚀ICP技术领域寻求更多突破。

北方华创科技集团股份有限公司成立于2001年,由北京七星华创电子股份有限公司、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司战略重组而成,是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业。

北方华创成立后就开始组建团队钻研刻蚀技术,2004年第一台设备成功起辉,2005年第一台8英寸ICP刻蚀机在客户端上线,并于2007年获得国家科学技术进步二等奖。

目前,北方华创的刻蚀设备已经覆盖集成电路LED、先进封装、功率半导体、MEMS微机电系统、化合物半导体、硅基微显、分析仪器、功率器件、光通信器件等多个领域,硅刻蚀机已突破14nm技术,进入主流芯片代工厂。

其中,12英寸ICP刻蚀机在实现客户端28nm国产化替代,并在14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV等工艺应用中发挥着重要作用。

——刻蚀:芯片制造中的关键工艺之一

刻蚀可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀,湿法刻蚀各向异性较差,而干法刻蚀是目前主流的刻蚀技术,其中以等离子体干法刻蚀为主导。所谓等离子体干法刻蚀,就是利用等离子体进行薄膜微细加工的技术,具有良好的各向异性、工艺可控性,广泛应用于微电子产品制造领域。在典型的干法刻蚀工艺过程中,一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中,在外部能量作用下(如射频微波等)形成等离子体。

等离子体刻蚀设备包括电容性等离子体刻蚀设备(CCP, Capacitively Coupled Plasma)和电感性等离子体刻蚀设备(ICP, Inductively Coupled Plasma)。CCP刻蚀设备主要应用于刻蚀氧化物、氮化物等硬度高、需要高能量离子反应刻蚀的介质材料,ICP刻蚀设备主要应用于刻蚀单晶硅、多晶硅等材料。

刻蚀作为半导体制造的关键工艺之一,根据SEMI统计,刻蚀设备约占晶圆制造设备价值量的24%左右。

刻蚀设备市场的行业集中度较高,目前,全球半导体刻蚀设备的主要供应商为泛林半导体(Lam Research)、东京电子(TEL)、应用材料(AMAT)三家,而Lam Research占据刻蚀设备市场的半壁江山。根据Gartner数据显示,2019年全球刻蚀设备市场约为115亿美元,其中Lam Research独占52%的市场份额,TEL和AMAT分别占据20%和19%的市场份额。

来源:Gartner

——快速增长的中国大陆半导体设备市场及刻蚀设备国产化率

来源:SEMI

近年来,随着国内芯片制造行业的兴起,中国大陆半导体设备需求市场快速增加。由于美国对中国半导体企业的进一步封锁,国内企业如中芯国际、长江存储等在今年加大了对半导体设备(尤其是海外厂商)的采购,亚化咨询预计,2020年中国大陆半导体设备市场将突破160亿美元,刻蚀设备市场将达到25亿美元。

在中国大陆刻蚀设备市场不断扩大的同时,另外一个数字也在悄悄地提升——那就是刻蚀机的国产化率。

以长江存储设备招中标情况,截至2020年12月16日,长江存储共累计招标348台刻蚀设备,其中美国厂商Lam Research占据超过一半的采购量,达187台。而国内厂商中微半导体、北方华创、屹唐半导体分别中标50台、18台、13台,国产化率高达23.85%。

以华虹六厂设备招中标情况为例,截至2020年12月16日,华虹六厂共累计招标81台刻蚀设备,其中Lam Research依旧占据超过一半的采购量,达45台。国内厂商中微半导体、北方华创分别中标15台、1台,国产化率约为19.75%

由于存储芯片的生产需求的设备量较大,亚化咨询还研究了长江存储单年的国产刻蚀机采购占比变化趋势。亚化咨询研究数据显示,2018、2019年长江存储采购的国产刻蚀机占比迅速提升,预计2020年约为30%左右,2023年将突破40%。

——中微:国产刻蚀设备龙头企业

中微半导体主要从事高端半导体设备的研发、生产和销售,包括半导体集成电路制造、先进封装、LED生产、MEMS制造以及其他微观工艺的高端设备等。公司的等离子体刻蚀设备已经在国际一线客户从65nm到14nm、7nm、5nm的集成电路加工制造及先进封装中有具体的应用。

在逻辑集成电路制造环节,公司开发的高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线并用于7nm器件中若干关键步骤的加工;同时,公司根据先进集成电路厂商的需求开发5nm及更先进的刻蚀设备和工艺。

在3D NAND芯片制造环节,中微的CCP刻蚀设备技术可应用于64层的量产,同时中微根据存储器厂商的需求正在开发96层及更先进的刻蚀设备和工艺。

中微各关键尺寸的刻蚀设备的具体应用

0b48fbb2-4602-11eb-8b86-12bb97331649.png

中微半导体从2004年建立起首先着手开发甚高频去耦合的CCP刻蚀设备Primo D-RIE,到目前为止已成功开发了双反应台Primo D-RIE,双反应台Primo AD-RIE和单反应台的Primo AD-RIE三代刻蚀机产品,涵盖65nm、45nm、32nm、28nm、22nm、14nm、7nm到5nm关键尺寸的刻蚀应用。此外中微半导体还从2012年开始开发ICP刻蚀设备,到目前为止已经成功开发出单反应台的Primo nanova刻蚀设备,同时着手开发双反应台ICP刻蚀设备。中微的ICP刻蚀设备主要涵盖14nm、7nm到5nm关键尺寸的刻蚀应用。

责任编辑:lq

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 集成电路
    +关注

    关注

    5304

    文章

    10547

    浏览量

    352379
  • 半导体
    +关注

    关注

    327

    文章

    24172

    浏览量

    201054
  • 刻蚀机
    +关注

    关注

    0

    文章

    45

    浏览量

    4035

原文标题:刻蚀机国产化率迅速提升,长江存储2020年达30%

文章出处:【微信号:CSF211ic,微信公众号:中国半导体论坛】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    2024新品|紫光同创盘古系列FPGA开发板套件,100%国产化方案

    专业厂商紫光同创生态合作伙伴,小眼睛科技一直深耕FPGA产品和解决方案,基于紫光同创器件,推出100%国产化高性能盘古系列FPGA方案和开发套件,为客户提供专业且高效的FPGA产品和服务支持。 2024
    发表于 12-28 14:18

    英特尔AI PC处理器发布 存储芯片迎国产化迭代机遇

    AI PC也将显著增加更高带宽的内存需求,以提升整体运算性能。由此或将带来存储领域芯片迭代及国产化机遇。
    的头像 发表于 12-19 10:59 410次阅读

    长江存储致态TiPlus7100 4TB SSD评测

    其实早在年初,就有不少搭载长江存储闪存颗粒的国产4TB SSD,不过长江存储的自有品牌致态,直到现在才推出这款致态TiPlus7100 4T
    的头像 发表于 12-12 11:07 611次阅读
    <b class='flag-5'>长江</b><b class='flag-5'>存储</b>致态TiPlus7100 4TB SSD评测

    8项专利被侵权!美光与长江存储陷入专利之争

    长江存储与美光芯片战升级。3D NAND闪存制造商长江存储,已于9日在美国加州北区地方法院对美国记忆芯片龙头美光科技提告,指控美光侵犯了长江
    的头像 发表于 11-13 17:24 549次阅读

    长江存储起诉美光!

    长江存储在以上起诉书中称,长江存储不再是新秀(upstart),而已成为全球3D NAND市场的重要参与者。长江
    的头像 发表于 11-13 16:53 536次阅读
    <b class='flag-5'>长江</b><b class='flag-5'>存储</b>起诉美光!

    长江存储在美起诉美光 指控侵犯8项3D NAND专利

    长江存储在专利侵害诉讼场主张说:“此次诉讼是为了中断美光公司广泛而无许可地使用长江低利的专利革新。”长江存储诉讼称,美光使用
    的头像 发表于 11-12 14:26 316次阅读

    龙芯发布国产化全固态桌面存储一体机

    为解决网络存储的信息安全威胁,近日,龙芯国产化全固态桌面存储一体机正式发布。该产品由龙芯中科(武汉)技术有限公司牵头,联合龙众创芯、嘉合劲威、熊猫电子、可道云等多家国产
    的头像 发表于 09-19 10:54 640次阅读

    芯片制造的国产化任重道远

    芯片制造的国产化任重道远,比如在EDA工具的国产化、光刻机等,国产化都还有很长的路要走。有统计数据显示,目前阶段我国在清洗、热处理、去胶设备的国产化率分别达到34%、40%、90%,在
    发表于 08-09 11:50 4211次阅读

    飞凌嵌入式A40i全国产化核心板,照亮电力设备国产化之路

    国产化三个字近几年来在电力行业内很火,新的设备、新的项目都开始有国产化的趋势,要求自主可控,然而很多人只是泛泛地去看待“国产化”这三个字而没有去深究它的重要性。自主可控有多重要?今天,我们就来认真
    的头像 发表于 08-05 16:52 633次阅读
    飞凌嵌入式A40i全<b class='flag-5'>国产化</b>核心板,照亮电力设备<b class='flag-5'>国产化</b>之路

    首台国产12英寸晶边刻蚀机发布

    Accura BE作为国产首台12英寸晶边刻蚀设备,其技术性能已达到业界主流水平。” Accura BE通过软件系统调度优化和特有传输平台的结合,可以提升客户的产能。
    的头像 发表于 07-19 16:50 1152次阅读

    工业机器人赛道,受益智能制造、国产化双重驱动

    2022年我国工业机器人国产化率仅35%,国产化仍有较大提升空间。国产化率较低的环节成长空间大、壁垒高、盈利能力较好,是行业阿尔法来源之一,国产化
    的头像 发表于 06-29 16:46 709次阅读

    请查收“国产化认证报告”(100%)——RK3568J工业核心板

    本帖最后由 Tronlong创龙科技 于 2023-6-15 16:57 编辑 创龙科技RK3568J核心板获得“100%国产化”认证 日前,创龙科技“国产化100%认证”的核心板再添一员
    发表于 06-15 16:56

    UD PCIe-404全国产化信号处理卡 PCIe3.0×8

    连接器)接口进行通信,支持多板级联,模块为100%国产化设计(同时也兼容进口器件)。FPGA芯片可选上海复旦微或深圳国微的V7-690T,两组DDR3的存储容量分别可配置为2~4GByte。板载有1个
    发表于 05-21 18:27

    连接器下游应用领域广泛,国产替代空间广阔

    23.09%提升至32.18%,超越欧洲与北美地区成为全球最大的连接器市场。 CJT连接器一直致力于进口连接器国产化——初创于1998、公司坐落于经济发达的广东省深圳市。长江连接器
    发表于 05-05 16:46

    国产ARM+FPGA架构在“能源电力”中的典型应用详解

    ,在如下能源电力应用场景中被广泛应用:国产AD + FPGA + ARM方案,国产化100%为满足能源电力行业的“国产化”需求,创龙科技推出了国内首发全
    发表于 03-31 16:48