芜湖第三代半导体工程中心SiC和GaN器件产线全面贯通

2020年9月28日上午，芜湖第三代半导体工程中心SiC和GaN器件产线全面贯通，安徽省科技厅罗平厅长、安徽省经信厅刘一成巡视员、清华大学微纳电子系主任&微电子学研究所所长吴华强，芜湖市委书记潘朝晖、市长单向前、副书记冯克金、常务副市长宁波、高新区党工委书记&主任黄维群、启迪控股常务副总裁赵东和来自全国各地的200余位嘉宾出席了激动人心的产线启动仪式，仪式由启迪控股副总裁、启迪新材料集团董事长、启迪半导体董事长赵清主持。

产线启动仪式现场

芜湖第三代半导体工程中心自2017年6月启动建设。启迪新材料集团和芜湖市建设投资有限公司通力合作，在芜湖市委、市政府和高新区管委会以及发改委、科技局、经信局等相关部门的大力支持下，历时三年多，完成了2.3万平方米的厂房，8200平米的洁净间建设，以及360余台套核心工艺设备的采购、安装和调试，终于迎来了全线贯通的历史性时刻！

与此同时，芜湖第三代半导体工程中心汇聚了众多化合物半导体工艺研发和生产的精英，形成了一支超过200人的包含外延材料、器件研发、工艺、设备、质量控制等方向的全方位人才队伍，其中科研人员占比达70%。团队已申请专利超80项，掌握了以碳化硅（SiC）和氮化镓（GaN）为代表的第三代半导体器件生产的核心技术。

罗平在讲话中说，近年来，芜湖市深入实施创新驱动发展战略，全力推进国家自主创新示范区和国家创新型城市建设，努力在下好创新“先手棋”上走在前列，在全省乃至长三角创新版图中的优势地位进一步巩固。第三代半导体工程中心是科技之花结出产业之果的典型示范，是“政产学研用”创新模式的典型实践。此次通线的碳化硅器件线、氮化镓器件线，必将为芜湖市新能源汽车、航空、5G通信等新产业创新发展注入强劲动力。面向“十四五”，省科技厅将一如既往地支持芜湖科技创新事业发展，支持芜湖打造“四个名城”、建设长三角城市群中具有更高能级的现代化大城市，在加快建设美好安徽上作出更大贡献。

单向前指出，作为芜湖市第三代半导体产品研发和代工生产的公共平台，第三代半导体工程中心承载了芜湖从传统制造走向智能制造的厚望，是信息产业的基石，智能互联的核芯。产线贯通后将步入新的历史阶段，芜湖市政府将抢抓长三角一体化发展机遇，全力推动第三代半导体全产业链集群化发展，努力打造智造名城、创新名城、开放名城、生态名城，加快建设长三角城市群中具有更高能级的现代化大城市。

吴华强表示，第三代半导体是支撑未来5G通讯、航空航天、物联网、互联网、新能源汽车、大数据等产业发展的“核芯”，对支撑新兴产业发展、提升传统产业竞争力、实现新旧动能转换具有重大的战略意义。芜湖市和启迪从2017年开始建设第三代半导体工程中心，具有极高的前瞻性和战略眼光。相信芜湖第三代半导体工程中心将会为芜湖第三代半导体产业聚集发展打下良好基础，在芜湖乃至安徽创造出一个战略性新兴产业的新增长点。清华大学微纳电子系将全力支持工程中心建设，为芜湖第三代半导体产业发展提供更多的人才和技术支撑。

清华大学微电子学研究所吴华强所长参观

产线全面贯通后，芜湖第三代半导体工程中心将具备从材料、芯片到模块封装与测试的整体化解决能力，可年产5万片碳化硅和氮化镓晶圆，成为芜湖市第三代半导体科技创新和研发制造高地。该中心将携手产业链上下游企业共同打造第三代半导体产业创新发展集群，辐射带动汽车功率电子、充电桩、5G基站设施等产业发展壮大。

9月28日下午，启迪半导体主办了2020中国（芜湖）第三代半导体产业发展论坛，邀请了张清纯教授、于坤山秘书长在内的10位嘉宾从产业现状趋势、芯片设计思路、材料器件的研发、装备国产化推进、产线运作模式、电力电子应用、服务平台打造、人才培养与合作等方面共议发展。启迪半导体和第三代半导体工程中心希望通过此次发展论坛，进一步加强业界互动交流与协同合作，促进人才积聚，整合核心资源，扩大应用场景，推进“材料、工艺、装备一体化”发展，加快装备国产化的进程，实现第三代半导体产业的全面突破，共同打造科技创新和制造研发高地，用“芯”构筑未来。

张清纯教授分享《碳化硅半导体材料与器件：技术现状与发展趋势》

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