《第24期“见微知著”培训课程：MEMS技术进阶》在无锡圆满落幕！

2020年8月14日至8月16日，由麦姆斯咨询主办，上海传感信息科技有限公司和华强电子网协办的《第24期“见微知著”培训课程：MEMS技术进阶》在无锡圆满落幕！本课程共邀请了七位产业经验丰富、技术能力卓越的学术界大师和企业技术专家，为大家带来精彩纷呈的MEMS知识盛宴。课程以热门MEMS器件为主线，从原理、设计、制造、封测、可靠性分析及应用等重要环节入手，为学员解析MEMS和传感器产业现状以及发展脉络，旨在帮助MEMS从业人员提升专业技能。

《第24期“见微知著”培训课程：MEMS技术进阶》师生合影留念

培训现场图：学员们认真聆听讲师授课

囊括MEMS关键环节，“一站式”覆盖产业热点！

8月14日上午，由中国科学院上海微系统与信息技术研究所的研究员王跃林为大家开启了MEMS产业链之旅，带来《从MEMS发展到NEMS的启示》。王跃林老师凭借在国家级重大项目二十多年的锤炼，以自己的亲身经历梳理出MEMS技术发展脉络，与学员分享了对MEMS产业成长的独到看法。王跃林老师首先通过MEMS技术上的重大突破以及MEMS器件的广泛应用，凸显了MEMS技术的重要地位。随后对压力传感器、加速度计、陀螺仪以及热电红外传感器等典型MEMS器件层层剖析，让学员从中收获颇丰。恰逢今年中国芯片遇到了历史上较为艰难的时刻，虽然美国全产业链封杀华为等中国强企，但从亟需寻找***芯片和设备角度来看，也为中国芯片崛起创造了巨大机遇。王老师强调：整个MEMS产业链中，制造仍是关键环节，我们需要通过不断摸索发现、建设中试研发平台来解决“研发难、验证难”的问题，在IC工厂建成MEMS规模制造平台来解决量产难的问题，同时MEMS产业未来发展的趋势是“适应个性化需求”。课程最后，王老师对NEMS的制造技术、工艺做了详解。

中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员王跃林老师的授课风采

8月14日下午开启了针对MEMS热门器件的讲解，首先邀请到中国科学院上海微系统与信息技术研究所的研究员焦继伟为大家讲解《惯性MEMS》。课程伊始焦继伟老师即以两句话总结了目前惯性MEMS传感器市场大趋势——“‘万亿传感器’的AIoT时代，MEMS为王”以及“‘万物皆运动，控制靠感知’，惯性传感器地位依旧”。接着，焦老师从惯性传感器的基础理论知识入手，为学员逐一讲解了MEMS加速度计和陀螺仪的器件结构、检测/换能原理和主要制造工艺等关键技术以及典型应用。随后焦老师专门对消费级、工业级和战术级MEMS惯性传感器做了对比分析。焦老师认为，微惯性测量单元（MIMU）是目前组合式惯性传感器的发展重点，另外还介绍了消费类MEMS器件对晶圆级封装（WLP）的强烈需求以及WLP技术在惯性MEMS器件的发展进程和面临的挑战。课程最后，焦老师分析了目前惯性传感器的产业现状以及主要供应商。焦老师总结道，消费类惯性传感器市场早已是红海，但中高端器件仍非常稀缺；随着整体产业链成熟度的提升，传统惯性产品研发突破难度非常大，需要持续提升平台能力及开放性，整体生态链依旧脆弱。因此，人才培养、差异化竞争、力抢价值高地是该产业竞争制胜的杀手锏。

中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员焦继伟老师的授课风采

8月15日上午，由山东大学的陶继方教授为大家传授《光学MEMS》。陶继方老师在硅基微纳光电子器件的设计、制造和封装工艺方面拥有多年实战经验，首先就从硅基集成光学器件和光学MEMS器件的基础知识入手，为大家梳理了硅光芯片的关键组成、基本工艺和应用；另外还介绍了微镜/微振镜、红外热电堆、光开关、光子麦克风以及波长可调激光器等典型光学MEMS器件。陶老师提到，MEMS器件设计占20%，而工艺技术要占到80%，可见制造工艺的重要性。为了能够让学员对此类型传感器有更清晰的认知，陶老师以自己的研究成果与学员分享。都说基础知识比较枯燥，但在陶老师的课堂中，时而提问问答、时而欢声笑语，气氛异常热烈。接着，陶继方老师又分别对挥发性有机化合物检测、集成高精度露点传感器以及集成红外气体传感器的角度等硅基光电子热门器件进行了深入讲解，主要对器件工作原理及测量结果进行对比分析，同时还结合对市场发展趋势的分析。陶老师通过对比梳理典型器件技术，总结认为目前光学气体传感器市场非常集中，产业格局正处于大调整中。课程最后，陶老师还与学员们分享了自己在“纳米光子集成传感器”和“光学MEMS传感器”的成果经验。

山东大学陶继方教授的授课风采

当天上午第二节课《红外探测器》由上海巨哥电子科技有限公司总经理沈憧棐为大家带来。沈憧棐老师在红外成像精确测温、低成本红外探测器等方向上具有众多前瞻性的研发成果和丰富的行业应用经验。课程伊始，沈憧棐老师即结合日常生活中大家常见的物品，对微测辐射热计的工作原理和分类进行了详细讲解，随后过渡到对其性能的阐述。对于评估性能的主要参数，沈老师向大家展示了NETD、响应时间常数、测温动态范围、阵列响应一致性以及温度稳定性等参数的定义和意义。接着沈老师分别对氧化钒和非晶硅微测辐射热计的加工工艺进行了剖析，沈老师总结道，氧化钒微测辐射热计主要应用于成像型热像仪，而非晶硅微测辐射热计则在测温型和成像型应用均有涉及，同时探测器的最终性能是由读出电路、MEMS电阻结构和真空封装等多因素共同决定。而针对“如何制造出性能最佳的探测器”，沈老师分别从柱孔连接、应力平衡、材料性能优化、噪声改善以及极限线宽等多方面提出了独特见解，以期为学员们带来更多的启发。课程的最后，沈老师对非制冷型微测辐射热计的国内外供应商进行了梳理，同时也解析了红外探测器技术未来的发展方向。

上海巨哥电子科技有限公司总经理沈憧棐的授课风采

8月15日下午，由苏州美图半导体技术有限公司总经理王云翔为大家带来《MEMS制造及封装技术》。课程上半程，王云翔老师首先为学员分析了MEMS与IC在制造设备、材料的需求差异，突出了MEMS器件制造的特殊性。进而对体微加工、表面微加工、CMOS MEMS以及非硅加工技术等典型MEMS制造工艺流程进行了讲解，尤其细致剖析了玻璃、塑料、金属、橡胶与纤维等非硅材料及其加工技术。随后，王老师对单步特殊制造工艺进行了重点阐述，以Bosch工艺为例解读了深硅刻蚀；后又结合市场上主流***、光刻胶讲解了特殊光刻和喷胶工艺，同时还为学员介绍了各类键合技术、应用场景以及所用到的特殊材料。课程下半程，王老师结合着MEMS结构特征解析了MEMS封装技术以及与IC封装的差异。随后结合案例分别对典型的MEMS器件级封装工艺和MEMS晶圆级封装工艺做了剖析。王云翔老师的课程内容详实丰富，并结合自身经验以及对市场发展前景的分析，让学员收获满满。

苏州美图半导体技术有限公司总经理王云翔的授课风采

8月16日上午，由东南大学副研究员王磊为大家带来《MEMS可靠性分析》，这是我们本次课程学员最为喜爱也是最为关注的课程之一。课程之初，王磊老师就为大家点明了对MEMS器件可靠性至关重要的环境、失效机理以及寿命等关键因素，王磊老师告诉大家，可靠性需求一般来源于应用背景和器件类型综合考虑，包括器件预期工作寿命、器件预期贮存寿命、器件装配失效概率、器件工作失效概率。王老师主要针对MEMS器件应用背景、各类MEMS器件对可靠性的不同需求进行介绍，从贮存和工作寿命来看，军用MEMS器件对可靠性的要求远高于民用MEMS器件。MEMS材料力学性能评价及评价标准对MEMS器件实用化有着显著的意义，因此王老师为我们详细介绍了杨氏模量、残余应力/应变、泊松比、疲劳性能、热导率等主流的力学性能评价标准，同时向大家强调“对于给定设计的产品，工艺一致性、稳定性是可靠性的唯一评价标准”。接着，王磊老师以自身的实战经验，生动地为大家展示了冲击断裂、冲击粘附、键合线脱落或断裂、绝缘层漏电流、ESD等常见的MEMS失效模式及失效机理。随后，通过分析现行的国内外通用标准，让学员系统地了解了关于可靠性测试及分析的关键环节。王磊老师承担和参与过多项国家科研项目以及企业合作项目，因此在MEMS结构和工艺的可靠性问题中非常有发言权，利用自己研究中的实例为学员展示了多种工艺问题，让学员大开眼界，王老师直言，可靠性问题就好比探案，抽丝剥茧得到的原因往往是你未曾想到的。课程的最后，王老师针对产业界关注的几种器件（加速度计、陀螺仪、微镜）做了专题介绍。

东南大学副研究员王磊的授课风采

8月16日下午，由北京大学王玮教授带来本次课程的最后一课《生物MEMS》。王玮教授凭借在微纳流体技术相关领域研究所数十载积累的经验，为学员们带来了一场生物MEMS的盛宴。首先，王玮教授首先为大家梳理了生物MEMS技术所涵盖的基本概念，以及生物MEMS在传感器市场的地位和应用。后为学员重点介绍了生物MEMS领域的几种主要衬底材料及加工方法。王伟老师强调，微流控从研究到产业成功的关键在于研发出临床诊断等高性价比的杀手锏应用。随后通过对研究进展的逐步梳理为大家勾勒出基于微流控和滤膜技术的液态活检技术的成长图。近年来，随着检测技术的不断完善，新兴液体活检研究对象：循环肿瘤DNA（ctDNA）与外泌体（exosome）在肿瘤精准医疗的临床应用领域各放异彩，王玮老师结合自身研究方向，详细剖析了相关概念、临床应用现状和检测所面临的挑战。课程最后，在谈到液态活检的应用前景及商业化现状时，王老师总结分析了液态活检全产业链、典型产品以及市场现状和预测；同时还将液体活检技术在临床应用的优势利用示例对比体现地淋漓尽致。王伟老师的课堂充满了各类微流控领域的有趣实验，让学员在兴味盎然中饱获知识营养，广受学员赞誉。

北京大学王玮教授的授课风采

勤学好问，共商共讨；彼此交流，加持收获！

本次培训中不仅有讲师辛勤的付出，更有学员们不懈的努力；学员间热烈、酣畅的交流，可以让每位学员对知识和技能的学习成果进化、升华，真正实现“讲师传授知识+学员吸收理解+交流融合”成为“硕果满堂”。根据学员对思想碰撞的强烈期待，麦姆斯咨询工作人员特意在课程中安排了“介绍自己，互换资源”的环节，为学员提供了更广阔的沟通平台。学员们也给予我们此次培训高度评价，认为这是每年的MEMS技术盛会，也是对MEMS行业的整合。为学员创造收获知识、挖掘资源的平台，帮助大家实现资源升级、技术勇攀高峰，是麦姆斯咨询最重要的价值体现！

学员们交流环节

至此，麦姆斯咨询举办的《第24期“见微知著”培训课程：MEMS技术进阶》圆满完成！麦姆斯咨询将继续保持专业精神，为广大学员求得贤师；同时还将继续秉承精益求精的精神，不断开拓进取；麦姆斯咨询将持续为大家带来更多的精品课程！新学员，期待下次相见，老学员，期待再次重逢！