西安励德额温枪在疫情防控最前线发挥了重大作用

近期，突如其来的新型冠状病毒感染引发的肺炎疫情席卷全球，牵动每个人的心。在这次全民紧急战役中，除了口罩等疫情防护用品外，耳温枪、额温枪等非接触式红外测温设备凭借快速、直观、安全等特点，在疫情防控最前线发挥了重大作用。

红外测温设备核心是热电堆红外传感器，热电堆红外传感器是基于塞贝克效应机理，采用硅基工艺，在底硅刻蚀深腔，顶硅支撑层上排布若干热电偶，传感器接收红外辐射时，热电堆上多个热电偶电压叠加输出，从而将采集温度转变为电压信号。测温设备难点在于需要达到医用计量标准，其核心传感器具备高精度、高可靠性、高稳定性以及高一致性等要求。

疫情紧迫，西安励德积极成立红外温度传感器项目组，加班加点讨论方案，协助合作单位完善设计方案，集中攻关工艺难点。公司背腔刻蚀采用经典Bosch工艺，刻蚀与钝化交替进行，先后开发针对热电堆红外传感器的300μm、400μm深度的背腔深硅刻蚀技术。其中背腔刻蚀尺寸精度、侧壁垂直度、侧壁粗糙度等均是影响传感器最终精度的重要指标，需要精确的工艺参数控制，如功率、气体流量、压力等，对刻蚀周期的调控都需要精确至毫秒级，保证芯片散热性能。

3月以来，国外疫情日趋严重，西安励德加紧扩充相关产品的产能，突破红外测温技术瓶颈，核心技术完全自主可控，从根本上保证了产品质量和供货周期，有力筑起红外测温抗疫的第一道防线。

西安励德以”创造更美好的智能社会”为产业愿景，不断积累经验，重视创新，构建了相对完整的物联网（IOT）生态圈，以各类传感器为核心，形成了“设计+工艺开发+工艺验证+批量生产”的系统解决方案，业务覆盖民用传感器和航空航天等军用领域，以提供一流微器件制造解决方案为己任，不断努力。