安徽熙泰硅基OLED工厂首台设备——蒸镀设备搬入

日前，安徽熙泰智能科技有限公司（以下简称“熙泰”）硅基OLED工厂首台设备——蒸镀设备搬入。

据显示，熙泰坐落于安徽省芜湖市长江大桥综合开发区辰泓达产业园内，致力于为全球用户提供优质的硅基AMOLED微型显示器产品及技术支持。

公司2016年研发中心成立，2017年7月份圆满建成，全面投入运行。现有包括科研人员、外聘人员等在内的专业研发人员20多名，50％以上具有硕士研究生以上学历。中心研发产品主要集中于LCOS、硅基OLED微显示器、硅基LED微显示器和相关仪器设备等方向。

该研发中心所使用的是团簇式设备，由四个真空腔室、一个传递腔室和用于封装用的手套箱（水和氧气含量小于1 ppm）构成，总控腔体（1）用于机械手自动传输并能控制各个腔体的工作。

真空腔体为等离子体清洗腔体（2）用于清洗基板，有机热蒸发薄膜蒸镀腔体（3）用于蒸镀OLED各个功能层；两个磁控溅射腔体（4和5）腔体用于制作金属和化合物电极。所有真空腔体的真空度可达10－5 pa。

硅基OLED是将半导体和OLED结合的一种显示技术，具有高亮度、高对比度、高PPI、高集成度、低响应时间及低功耗等特性。目前，京东方、视涯、Kopin、索尼等大厂也都在积极推进硅基OLED技术发展。