PSD光电位置传感器实验

实验 PSD 光电位置传感器实验
实验原理：
PSD（Position sensitive detector）是一种新型的横向光电效应器件，当入
射光点照在光敏面上时由于光生载流子的流动产生光生电流I，经运算后即可知光点的位置。

（图21）PSD 器件工作原理

实验所需部件：
PSD 传感器、固体激光器、位移装置、PSD光电位置传感器实验模块、电
压表、示波器
实验步骤：
1、观察PSD器件及安装位置，激光器置于PSD 组件中，调节反射体（被
测物）与激光管的位置大约为70~80mm ,模块输出V0端接电压表及示波器，连
接主机与实验模块的电源线及传感器探头。
2、开启主机电源，连接激光器电源并调节激光光点，激光束射到被测物
体后其漫反射光经透镜聚焦入射PSD 光敏面（激光器的光点位置可以旋转调
整，以提高PSD器件的光电流输出），调节位移装置，使光斑位于PSD光敏面
中点（通过观察窗口确认），调节模块“增益”旋钮，用示波器观察，输出波
形不应有自激，此时模块电路输出为零。
3、分别向前和向后位移被测体，每位移0.1mm 记录一电压值，并记入下表：

作出V-X 曲线，计算灵敏度，分析工作线性。
4、用遮挡物盖住观察窗口，使PSD 器件不受背景光影响，重新进行位移
测试，看结果是否有变化。
注意事项：
本实验仪中的固体激光器只能作为实验光源之用，严禁实验者用激光光束
照射人的眼睛，否则将会造成视力不可恢复的伤害。
需注意的是由于背景光的影响及变化，会使多次实验的结果有所不同。