我们华林科纳讨论了一些重要的等离子体蚀刻和沉积问题（从有机硅化合物）的问题，特别注意表面条件，以及一些原位表面诊断的例子。由于等离子体介质与精密的表面分析装置不兼容，讲了两种原位表面调查的技术
2022-05-19 14:28:15
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沉积。离子注入使用等离子体源制造晶圆掺杂所需的离子，并提供电子中和晶圆表面上的正电荷。物理气相沉积(PVD)利用离子轰击金属靶表面，使金属溅镀沉积于晶圆表面。遥控等离子体系统广泛应用于清洁机台的反应室、薄膜去除及薄膜沉积工艺中。
2022-11-15 09:57:312625 光捕获技术是提高太阳能电池光吸收率的有效方法之一，它可以减少材料厚度，从而降低成本。近年来，表面等离子体（SP）在这一领域取得了长足的进步。利用表面等离子体的光散射和耦合效应，可以大大提高太阳能电池的效率。
2023-12-05 10:52:27497 
等离子弧切割机是借助等离子切割技术对金属材料进行加工的机械。等离子切割是利用高温等离子电弧的热量使工件切口处的金属部分或局部熔化(和蒸发)，并借高速等离子的动量排除熔融金属以形成切口的一种加工方法。
2019-09-27 09:01:37
液晶显示器(LCD)之后的最新显示技术之一。这种显示器能够用作适应数字化时代的各种多媒体显示器，适用于制造大屏幕和薄型彩色电视机等，有着广阔的应用前景。等离子体显示器具有体积小、重量轻、无X射线辐射
2011-01-06 16:09:23
等离子显示器的工作原理是什么？ＰＤＰ等离子显示器有哪些特点？等离子显示器比传统的显像管和ＬＣＤ液晶显示器具有哪些技术优势？
2021-06-07 06:06:32
】：1引言电子元器件在生产过程中由于手印、焊剂、交叉污染、自然氧化等，其表面会形成各种沾污。这些沾污包括有机物、环氧树脂、焊料、金属盐等，会明显影响电子元器件在生产过程中的相关工艺质量，例如继电器的接触电阻，从而降低了电子元器件的可靠性和成品合格率。等离子体是全文下载
2010-06-02 10:07:40
空间。在两块玻璃基板的内侧面上涂有金属氧化物导电薄膜作激励电极。 当向电极上加入电压，放电空间内的混合气体便发生等离子体放电现象。色彩还原能力好，显示色彩自然。由于等离子电视是通过紫外线激发荧光粉发光
2014-02-10 18:20:48
当高频发生器接通电源后，高频电流I通过感应线圈产生交变磁场(绿色)。开始时，管内为Ar气，不导电，需要用高压电火花触发，使气体电离后，在高频交流电场的作用下，带电粒子高速运动，碰撞，形成“雪崩”式放电，产生等离子体气流。
2019-10-09 09:11:46
合有局限，不适用于聚四氟乙烯微波板的三防涂覆前处理。 基于以上原因，开展了应用等离子体处理法替代钠萘处理法进行聚四氟乙烯表面活化处理的研究工作。
2019-05-28 06:50:14
近年来，等离子体技术的使用范围正在不断扩大。在半导体制造、杀菌消毒、医疗前线等诸多领域，利用等离子体特性的应用不断壮大。CeraPlas® 是TDK 开发的等离子体发生器，与传统产品相比，它可以在
2022-05-18 15:16:16
等离子体显示器又称电浆显示器，是继CRT(阴极射线管）、LCD（液晶显示器）后的最新一代显示器，其特点是厚度极薄，分辨率佳。可以当家中的壁挂电视使用，占用极少的空间，代表了未来显示器的发展趋势（不过对于现在中国大多...
2021-04-20 06:33:47
表面波等离子体激励源设计，不看肯定后悔
2021-04-22 07:01:33
纵观此次混合介质多层板制造等离子体处理技术运用，究其类别主要有以下三种： (１)聚四氟乙烯介质板和混合介质多层抄板的孔金属化制作前孔壁活化处理； (２)聚四氟乙烯多层板层压前的内层介质表面微
2018-09-10 15:56:55
氟化碳气所组成之混合气体，举例说明等离子体处理之机理： (2)用途： 1、凹蚀 / 去孔壁树脂沾污； 2、提高表面润湿性(聚四氟乙烯表面活化处理)； 3、采用激光钻孔之盲孔内碳的处理； 4
2018-11-22 16:00:18
组成之混合气体，举例说明等离子体处理之机理： (2)用途： 1、凹蚀 / 去孔壁树脂沾污； 2、提高表面润湿性(聚四氟乙烯表面活化处理)； 3、采用激光钻孔之盲孔内碳的处理； 4、改变内层表面
2013-10-22 11:36:08
活性的表面，从而提高阻焊膜层的附着力。 (5) 残留物去除 等离子体技术在残留物的去除方面，主要有着下述三方面的作用： (A) 在印制电路板制造，尤其在精细线条制作时，等离子体被用来蚀刻前去除干膜
2018-09-21 16:35:33
电镀铜加工→图形转移形成电气互连导电图形→表面处理。 一、等离子体切割加工技术特点 等离子体的温度高，能提供高焓值的工作介质，生产常规方法不能得到的材料，加之有气氛可控、设备相对简单、能显著缩短
2017-12-18 17:58:30
的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。等离子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，等离子体作用于材料
2012-09-25 16:21:58
近年来，等离子体技术的使用范围正在不断扩大。在半导体制造、杀菌消毒、医疗前线等诸多领域，利用等离子体特性的应用不断壮大。CeraPlas® 是TDK 开发的等离子体发生器，与传统产品相比，它可以在
2022-05-17 16:41:13
关于举办2020年会-COMSOL半导体器件+等离子体+RF光电+电化学燃烧电池专题”的通知COMSOL Multiphysics 燃料电池、电化学模块1.电化学-热耦合方法2. 传质-导电-电化学
2019-12-10 15:24:57
uPD16305的性能特点是什么？uPD16305在等离子体显示器中有什么应用？
2021-06-04 06:54:10
3.3 ICP 干蚀刻引入等离子体诱导损伤的证据3.4 概括 4. 结论 首次直接比较了 CMP 和干蚀刻 GaN 衬底表面处理方法，并通过实验比较了 GaN 衬底表面处理的优缺点，以了解这些技术
2021-07-07 10:26:01
1. 低温等离子体及废气处理原理低温等离子体技术是一门涉及生物学、高能物理、放电物理、放电化学反应工程学、高压脉冲技术和环境科学的综合性学科，是治理气态污染物的关键技术之一，因其高效、低能耗、处理
2022-04-21 20:29:20
本文分析了基于表面等离子激元的可调谐共振环滤波器结构原理，并分别对环半径R为1.0μm和1.1 μm时进行了仿真。
2021-04-14 06:48:54
使用等离子清洗技术清洗晶圆去除晶圆表面的有机污染物等杂质，但是同时在等离子产生过程中电极会出现金属离子析出，如果金属离子附着在晶圆表面也会对晶圆造成损伤，如果在使用等离子清洗技术清洗晶圆如何规避电极产生的金属离子？
2021-06-08 16:45:05
1.引言微波测量方法是将电磁波作为探测束入射到等离子体中，对等离子体特性进行探测，不会对等离子体造成污染。常规微波反射计也是通过测量电磁波在等离子体截止频率时的反射信号相位来计算等离子密度。当等离子
2019-06-10 07:36:44
【作者】：吕鹏;刘春芳;张潮海;赵永蓬;王骐;贾兴;【来源】：《强激光与粒子束》2010年02期【摘要】：描述了Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁
2010-04-22 11:41:29
日本FDK日前展示了一款用于生物物质及工业流体测定的表面等离子共振传感器。 SPR传感器作为生物传感器被广泛使用。通过测定入射传感器的光线在出射时的衰减，可以确定附着在传感器光路表面金属电极上
2018-11-20 17:05:46
spec-troscopy,LIBS)是近年发展起来的一种基于激光与材料相互作用的物理学与光谱学交叉的物质组分定量分析技术[1-3]。其原理是利用聚焦的强激光束入射样品表面产生激光等离子体,等离子体辐射光谱含有被测物质的组分和组分全文下载
2010-04-22 11:33:27
CMOS传感器的最新技术有哪些？传感器发展的趋势有哪几种？
2021-06-03 06:15:18
等离子体NOX 脱除技术作为一种脱硝新工艺，受到世界各国的广泛关注。在叙述了等离子体脱硝的的两种反应机理、等离子体NOX 脱除的主要方法（电子束照射法、高压脉冲电晕法
2009-02-13 00:35:58
12 采用分层介质方法处理非均匀等离子体层，研究了电磁波射向覆盖磁化等离子体层的金属平板时电磁波的衰减特性。着重讨论Epstein密度分布的等离子体层，分析了等离子体电子密
2009-03-14 15:07:3426 主要分析了各种废水处理技术的优缺点，提出了一种新型等离子体处理废水的方案，说明了利用低温等离子体是一种新型的具有广阔应用前景的废水处理一体化技术。并对产生等离
2009-04-08 14:56:4035 表面等离子体共振(SPR) 技术是一种简单直接的传感技术,SPR 对金属表面附近的折射率的变化极为敏感,利用这一性质,表面等离子体共振传感器已成为生物传感器研究领域的热点。现提
2009-06-30 10:18:5111 介绍了一种利用光纤表面等离子体波传感器进行折射率测量的方法,并利用此方法对环氧树脂复合材料进行固化监测。对不同折射率的溶液进行了测试研究,并设计了一种用于折射率
2009-07-09 14:24:0421 本规范规定了数字电视等离子体显示器（以下简称PDP 显示器）功能和性能的技术要求，检验规则、标志、包装、运输、贮存等的基本要求。本规范适用于数字电视等离子体显示器
2009-08-21 22:31:237 脉冲等离子体推力器等效电路模型分析:：脉冲等离子体推力器(P胛)的放电电流与推力器性能有密切关系。为了分析影响脉冲等离子体推力器放电电流的因素，建立了推力器放电过程
2009-10-07 23:03:5910 一种大气微波环形波导等离子体设备:微波等离子体相对其它等离子体而言有很多的优点，具有极高的工业应用价值。但在大气条件下，大体积的微波等离子体较难获得
2009-10-29 13:59:3214 等离子体喷射X光时空分辨测量:在“神光”强激光装置上对0.53 μm 激光产生的等离子体喷射进行了X光时空分辩诊断。首次利用多针孔阵列成像技术结合软X光扫描相机观
2009-10-29 14:09:2416 斜辐照激光等离子体辐射X光子特性:在神光Ⅱ高功率激光装置上，实验研究了激光斜辐照形成的激光等离子体辐射X射线光子的特性及真空喷射热等离子体流的方向。采用
2009-10-29 14:11:3915 本文研究了高频区等离子体包覆目标的RCS 可视化计算,将等离子体包覆目标的RCS计算分两部分完成，首先分析电磁波在等离子体中传播的折射衰减及碰撞衰减，将衰减后电磁波利
2009-12-30 17:10:4010 推导了磁场作用下等离子体流动的控制方程，采用加入人工粘性项的MacCormack二阶格式对方程进行了离散。计算了在不同磁场作用下，一维理想磁控等离子体在激波管内的流动情况
2010-01-11 11:39:5210 曼品牌离子源, 推出 RF2100ICP Plasma Source 射频等离子体源及配套控制器, RF2100 等离子体放电, RFICP 在 2MHz, 电子
2023-05-11 14:57:22
行业简介：微弧氧化(MAO)又称微等离子体氧化(MPO)、阳极火花沉积(ASD)或火花放电阳极氧化(ANOF),还有人称之为等离子体增强电化学表面陶瓷化(PECC)。该技术的基本原理及特点是：在普通
2023-07-11 14:27:42
人类生活对能源的需求核聚变及受控核聚变原理等离子体约束的基本问题等离子体约束的各种模式等离子体输运与能量约束定标约束改善与边缘局域模控制总结和
2010-05-30 08:26:5614 介绍了光纤表面等离子体共振传感器的制造工艺和系统钮成，针对光纤传感检测系统在一定的条件下进行了多次测试，试验表明该系统在测试过程中存在红移现象．分析了发生红
2010-08-25 16:01:5325 光纤表面等离子体共振(SPR)传感器是一种将光纤纤芯作为激发SPR效应基体的新型传感器。阐述了SPR效应及其强度调制原理。设计出一套基于共振光强度调制技术的光纤表面等离子
2010-08-25 16:03:0726 摘要：以玻碳电极为基础电极，用微波等离子体技术聚合沉积聚乙二胺等离子体膜，使之形成带氨基功能团的表面。再通过戊二醛交联共价固定辣根过氧化物酶，制得H：02生物传
2010-12-30 21:35:4121 表面等离子共振型免疫传感器
RSD检测原理表面等离子共振( surface p lasmon resonance, SPR)型
2009-03-06 11:26:04974 
表面等离子激元(简称SPPs)早在1950年的Ritchie工作之后就被人们所认识。它们本质上是光子和导体中的自由电子相互作用而被表面俘获的广波，或者说是自由电子和光波电磁场由于共振
2010-06-11 11:29:59782 
表面等离子激元(简称SPPs)早在1950年的Ritchie工作之后就被人们所认识。它们本质上是光子和导体中的自由电子相互作用而被表面俘获的广波，或者说是自由电子和光波电磁场由于共振
2010-06-14 06:54:021098 
利用微波在介质表面激发出截止密度以上的等离子体，然后微波在介质与等离子体间形成表面波的传输，具有一定电场强度的表面波在其传输的范围内可生成和维持高密度的等离子
2010-07-29 11:00:011037 
等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存
2010-07-29 11:02:383998 摘要：表面等离子共振技术（Surface Plasmon Resonance）是利用金属膜/液面界面光的全反射连接引起的一种物理光学现象来分析生物分子相互作用的一项新兴技术。本文简要介绍了表面等离子共振技术的基本原理及其在生物医学领域中的应用。 关键词：表面等离子共
2011-02-11 16:03:2738 摘要：表面等离子共振技术是近年来迅速发展起来的用于分析生物分子相互作用的一项技术，它利用全反射时入射光可以和金属表面的等离子发生共振的原理，探测生物分子之间是否发生作用以及反应的动力学参数。该技术目前已广泛应用于免疫学、蛋白质组学、药物筛
2011-02-17 00:49:3836 离子注八材料表面陡性技术， 是材料科学发展的一个重要方面。文中概述7等离子体源离子注八技术的特点 基皋原理 应用效果。取覆等离子体源离子注八技术的发展趋势。例如， 除7在
2011-05-22 12:35:2948 根据静电场理论给出了描述鞘层电位的Poisson方程、等离子体理论和Boltzmann方程，给出了粒子数密度守恒方程。通过牛顿运动定律建立了等离子体的动量方程。基于Poisson方程、粒子数密
2012-02-09 16:43:2117 等离子体钨极氩弧焊接枪为研究对象，通过求等离子体弧柱区域的能量方程、动量守恒、质量守恒及电流连续性方程。得到温度、速度、电流密度分布。
2012-03-28 15:20:2131 等离子体模块是用于模拟低温等离子源或系统的专业工具。借助模块中预置的物理场接口，工程师或科学家可以探究物理放电机理或用于评估现有或未来设计的性能，例如直流放电、感应耦合等离子体、容性耦合等离子体、微波等离子体、表面气相沉积等。
2015-12-31 10:30:1557 电感耦合等离子体质朴分析的应用
2017-02-07 16:15:389 Ag_TiO_2薄膜表面等离子体共振光谱特性研究_刘超
2017-03-19 18:58:180 等离子体天线因为等离子体独特的物理性质，在解决天线隐身和互耦方面有难以估量的发展潜力，是当今天线技术的一大进步。世界上不少大公司都在研究和开发等离子体天线。在跟踪和分析等离子体技术发展动态的基础上
2018-06-01 10:31:004428 美国东北大学的研究人员发明了一种基于等离子体的红外传感器，它能够在需要执行感应任务时自动运转，然后在不需要工作时自动关闭（利于节能并延长寿命）。该项研究发表在《自然纳米技术》期刊上。
2017-12-19 16:27:194204 发展趋势。其中，理论研究主要从激励电源类型、等离子体装置、实验诊断技术和仿真方法等四个方面展开综述，实际应用则主要集中在生物医学、环境治理、流动控制和材料处理等领域。从会议相关情况来看，国内的大气压低温等离子体行
2018-01-02 16:12:245 放电等离子体有着非常广泛的实际工程应用价值，其内部温度特性是表征等离子体性质的一个重要参数。为了探明大气压下放电等离子体的气体温度空间分布特性参数，搭建了一套基于莫尔偏折原理的光学测试系统，对铜电极
2018-01-02 16:37:196 随着高压直流输电迅猛发展，绝缘材料在直流电压下表面电荷积聚现象严重威胁直流输电系统的安全可靠运行。为加快绝缘材料表面电荷的消散，采用大气压等离子体射流，以TEOS为前驱物，在环氧树脂表面沉积Si0
2018-01-16 11:07:443 对气体施加电压使之产生辉光放电的技术，或者称做等离子体技术，在医疗器械领域已经成为了一种解决表面预处理问题的有力工具。
2018-02-15 20:35:008250 
针对传统太赫兹光电导天线输出功率较低的问题，设计了一种基于金属阵列等离子体共振增强的太赫兹光电导天线，以提高太赫兹光电导天线的输出功率。通过对电磁波和半导体的物理场进行了理论分析，并建立了太赫兹光电
2018-03-01 11:15:131 Ethereum的联合创始人Vitalik Buterin提出了一种名为等离子体现金的区块链扩展解决方案，这是一种甚至“更可伸缩”的现有解决方案。等离子体现金由Buterin和开发者Dan
2018-03-13 07:31:00739 低温等离子体废气处理技术正越来越引起人们的重视，它是未来环保产业的重要发展方向。由于强温室气体SF6本身的理化特性，等离子体处理SF6面临着更多的挑战，目前该方面的研究综述鲜见。本文尝试根据国内外
2018-03-16 10:20:234 然而，自从我开始自己阅读关于等离子体的在线资源以来，我身边来自cryptoeconomics Lab的专业等离子体研究人员为我提供了一种非常接近的方式，让完全的初学者可以从头开始学习等离子体。他们给我提供了一大堆文章的参考资料，我们可以按照正确的顺序阅读。
2019-01-16 11:19:46673 等离子体可以通过多种方式来产生，常见的方法主要包括：热电离法/射线辐照法/光电离法/激波等离子法/激光等离子法/气体放电法等。气体放电是指气体在电场的作用下被击穿引起的导电现象，而低温等离子体的产生方式主要是通过气体放电来实现的。下面主要介绍通过气体放电来产生低温等离子体的各种方式
2019-04-22 08:00:0035 针对传统直流等离子体发生器电源效率不高、驱动管热损耗大等问题，设计了一个高效率低损耗的高频高压等离子体发生器。该系统通过移相全桥控制电路进行PWM方波控制，在功率晶体管驱动下，经高频谐振升压电路
2019-09-09 17:45:515521 
据介绍，这种新型传感器检测病毒的过程利用了“局域表面等离子体共振（LSPR）”和“等离子体光热（PPT）”两种不同的效应，以增加检测的可靠性。
2020-04-28 15:32:416988 等离子体激元是指传统金属和半导体的电子量子化集体振荡，一直以来吸引着人们对其在传感、快电子学和太阳能电池技术中应用的兴趣。等离子体激元也可存在于被称为狄拉克（Dirac）材料的奇异固体中。
2020-12-26 00:38:00480 等离子体位移快控电源设计(现代电源技术基础下载)-等离子体位移快控电源设计等离子体位移快控电源设计
2021-09-29 17:45:395 等离子清洗是通过使用称为等离子体的电离气体从物体表面去除所有有机物质的过程。这通常在使用氧气和/或氩气的真空室中进行。清洁过程是一种环境安全的过程，因为不涉及刺激性化学品。等离子体通常会在被清洁的表面上留下自由基，以进一步增加该表面的粘合性。
2021-12-22 14:35:074946 近年来，等离子体技术的使用范围正在不断扩大。在半导体制造、杀菌消毒、医疗前线等诸多领域，利用等离子体特性的应用不断壮大。CeraPlas® 是TDK 开发的等离子体发生器，与传统产品相比，它可以在紧凑的封装中产生低温等离子体*1，并具有更低的功耗。它有望促进各种设备的开发，使离子体技术更容易使用。
2023-02-27 17:54:38746 
氧等离子体和氢等离子体都可用于蚀刻石墨烯。两种石墨烯气体等离子刻蚀的基本原理是通过化学反应沿石墨烯的晶面进行刻蚀。不同的是，氧等离子体攻击碳碳键后形成一氧化碳、二氧化碳等挥发性气体，而氢等离子体则形成甲烷气体并与之形成碳氢键。
2022-06-21 14:32:25391 
后，可增加含氟涂层表面，减小接触角，增加EVA的剥离力，进而提高含氟涂层与EVA的结合功能。随着低温等离子体处理功率和时间的增加，有利于改善其外观和功能。
2022-06-28 14:57:00368 
等离子体清洗技术自问世以来，随着电子等行业的快速发展，其应用范围逐渐扩大，用于活化蚀刻和等离子体清洗，以提高胶粘剂的粘接性能。
2022-07-04 16:09:18433 
金徕常压等离子体技术与其他表面处理方法相比有哪些主要优点?
与其他表面活化方法相比，最主要优点是具有高效率。 等离子体系统能够非常容易地集成到现有生产线里，它环保，节约空间，还具有低运行成本的优势。
2022-10-26 09:48:12335 
都使用Cl基蚀刻化学物质。当在等离子体放电中分解时，CCl为还原物质提供了来源，并用于去除表面氧化物和Cl，与下面的Al反应。
2023-06-27 13:24:11318 
等离子体工艺是干法清洗应用中的重要部分，随着微电子技术的发展，等离子体清洗的优势越来越明显。文章介绍了等离子体清洗的特点和应用，讨论了它的清洗原理和优化设计方法。最后分析了等离子体清洗工艺的关键技术及解决方法。
2023-10-18 17:42:36448 
众所周知，倾斜光纤光栅可以激发众多的包层模式，并且对光纤表面周围环境敏感。当光纤包层模式与表面等离子共振相位匹配时，倾斜光纤光栅可以在金表面激发倏逝表面等离子体共振波。
2023-10-20 15:48:08330 
技术开发了一种基于局部表面等离子体成像的新成像技术，可以检测直径小于25纳米的粒子。 研究人员将该技术称为PANORAMA(超近场调制等离子体纳米孔径无标记成像)。与其他基于等离子体的成像技术相比，PANORAMA利用局域化等离子体效应
2023-11-27 06:35:23121 01、重点和难点 等离子体通常被认为是物质的第四态，除了固体、液体和气体之外的状态。等离子体是一种高能量状态的物质，其中原子或分子中的电子被从它们的原子核中解离，并且在整个系统中自由移动。这种状态
2023-12-26 08:26:29209 
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