MEMS迈入后消费时代，多元化应用拓展新思路

从消费电子和移动通信，到计算机、医疗电子和工业控制，MEMS技术正在迅速征服每一个市场领域。意法半导体公司大中华区模拟、功率与微电机系统市场部经理吴卫东日前在接受本刊采访时表示：“随着规模效应的实现，3年来MEMS价格已经降了一半左右，MEMS器件已不再是高端产品的专利，我们的目标就是要把它变成通用型消费品。”

iPhone的大获成功促使其他厂商争相推出具有相类似性能特点的产品，从而刺激了手机中用于探测运动的MEMS加速计的火爆销售。iSuppli公司预测，到2008年底，全球出货的12.9亿部移动设备中将有10%采用MEMS加速计，到2012年面向手机和其它消费电子产品的全球MEMS加速计出货量将增长到9亿个。如新一代iPhone 3G就采用了意法的8位三轴数字加速计解决方案LIS331DL，而另一款LIS302DL则获得了诺基亚N95的青睐。其中，LIS331DL的封装为3×3×0.9mm，据称是目前业界最小尺寸。

针对中国市场，意法半导体特别推出了3轴数字加速计LIS35DE，这款产品内置可编程中断发生器、单双击识别、自由跌落和运动检测，具有10，000g高抗冲击性，采用3×5×1 LGA封装，可支持横竖屏切换，晃动切换图片/音乐等功能。适用于手机、无线鼠标、电视遥控器、计步器、玩具等。

十速科技推出的互动式游戏平台uGame。

游戏机控制器是MEMS加速计及陀螺仪的另一个应用热点。通过与意法半导体的合作开发，索尼爱立信已在其手机游戏极品飞车中实现了空中运动控制功能—通过左右倾斜手机机身，即可完成对游戏车辆的灵活控制。***地区十速科技股份有限公司也推出了一款采用意法三轴加速计LIS302DL的互动式游戏平台uGame。这款tenx USB集成方案以低功耗、小尺寸为特色，鼠标、摇杆、键盘、HID四合一多用途USB控制器，实现对拳击、赛车、飞机、打雪仗等线上游戏的无线控制。

在笔记本电脑中检测自由落体运动的MEMS运动传感器也已经成为商用笔记本的标准功能，并将在2009年大量进入消费笔记本。例如，富士通西门子的ESPRIMO移动系列专业型笔记本电脑就采用了意法半导体的硬盘数据保护解决方案，由一个三轴运动传感器和应用软件两部分组成。完整的自由跌落检测解决方案为PC制造厂商缩短了产品上市时间。

除了现有的加速计和陀螺仪系列MEMS之外，意法半导体还计划于2009年推出压力传感器和硅麦克风产品系列。吴卫东表示，压力传感器可以用于海拔计、三维GPS定位、家电水位水速监测等，市场前景值得期待，而硅麦克风一直是出货量最大的MEMS器件之一，虽然目前在市场上已经不乏有力的竞争者，但是整个MEMS需求非常可观，市场远未饱和。他举例说，美国正在酝酿一项规定，准备强制要求在手机中加入压力传感器，以便在遇到类似911的紧急事件时，应急服务机构可以准确定位高楼中求救者的具体位置，以及提供救助，如果这项规定最终得以实施，则意味着又一个巨大的商机。

吴卫东指出，不同器件的综合使用将是MEMS未来的发展新思路，例如将加速度传感器与磁力传感器配合，就可以实现电子指南针的功能。根据意法半导体的产品规划，未来更将根据客户的需要推出综合型的模块化MEMS产品，即将加速度传感器、压力传感器、硅麦克风等MEMS器件做在同一个封装里面，以进一步减少客户的设计开发难度，缩短产品上市时间。