资料介绍
设计和操作
配备有角隅反射棱镜的MI系列微型干涉仪属于精密测长仪器,其设计旨在可以同用户系统相组合,并适用于各种类型的实验设备和实验任务。微型传感测头和角隅反射棱镜可永久安装在计量系统内。光纤耦合的传感测头不仅有益于多种类型的应用,而且使整个测量系统更具通用性。
微型化的干涉头将角隅反射棱镜的运动转换为光学干涉信号,并传入光电信号处理/电源供给单元进行处理并输出为长度值。
在较大动态范围内进行稳频的He-Ne激光以及环境因素对激光波长影响的修正构成其高计量精度的基础。
仪器本身不含线性误差。仪器操作及测量结果显示既可用分离的键盘/显示单元,也可用PC运行可选的软件包。
干涉仪
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