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微电子机械系统(MEMS ———Micro Electro Mechanical Systems) ,是指运用微电子加工技术和微机械加工技术,在较小的物理尺寸上,集成了微机械元件,微传感器,微机械执行器,微电子元件、电路和供能部件的器件或是系统。目前供能问题已经成为MEMS 降低成本、进入实用化、自动化的最大障碍。现有的一个解决方案是微能源。介绍了微能源技术的发展和技术现状,分别讨论了微型内燃机系统、微燃料电池、微太阳电池、微型锂电池、微型核电池等几种微能源的制造工艺,工作特性以及应用现状。简单分析了微能源的发展方向和应用前景。
关键词:微电子机械系统(MEMS) ;微能源;制造工艺;工作特性
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