电子发烧友App

硬声App

0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示
电子发烧友网>电子资料下载>电子论文>机械制造论文>MEMS器件平板运动空气阻尼研究

MEMS器件平板运动空气阻尼研究

2008-12-16 | rar | 333 | 次下载 | 免费

资料介绍

针对微电子机械系统中平行板间的气膜阻尼问题,通过将平板沿垂直方向的位移运动方程展开为傅里叶级数,得到了微平面机构所受的空气阻尼力和阻尼系数的解析公式。结果表明,空气阻尼系数近似与两平板间气隙厚度的三次方成反比。通过对微加速度开关质量块工作时所受的空气阻尼进行仿真分析,得出该开关的阻尼系数在工作过程中为变阻尼的结论,并分析了空气阻尼系数对于开关性能的影响。
关 键 词 傅里叶级数; 空气阻尼; 微加速度开关; 微机电系统

微机电系统[1-2](Micro Electro-Mechanical System,MEMS)器件中广泛使用了沿垂直方向做相对运动的微平面机构,如微加速度计[3]、微开关[4]等,这类器件中运动构件和基板衬底间空气气膜的挤压阻尼效应显著,因此,在设计含有微平面机构的MEMS机构时,建立有效的空气阻尼分析计算模型十分关键。
一般运动平板空气阻尼力采用经典流体润滑方程——雷诺方程进行计算。文献[5-6]曾经给出过平板作微震动时空气阻尼的解析模型,基于以上模型,文献[7-8]分别给出了作微震动矩形平板所受空气阻尼力的解析计算公式。但上述公式无法求解一般运动状态下平板受到的空气阻尼力;另外,采用数值计算方法,如有限元方法等可以有效求解平板所受的空气阻尼力[9],但是计算量极大,对于设计和动态仿真复杂的MEMS系统并不适用。因此有必要找
到一种较为简单有效的方法,用以计算微平面机构在一般运动状态下的空气阻尼问题。
本文证明了运动平板所受到的总阻尼力等于各频率成分的运动单独作用下板受到的阻尼力的叠加。根据该原理可以计算任意运动状态的矩形平板所受空气阻尼力。
1 阻尼力的计算原理
1.1 阻尼力的计算
图1、2所示分别为矩形平行板运动示意图及其压强分布状态图。

下载该资料的人也在下载 下载该资料的人还在阅读
更多 >

评论

查看更多

下载排行

本周

  1. 1东芝BiCD集成电路硅单片TB67S109AFNAG数据手册
  2. 1.93 MB   |  5次下载  |  免费
  3. 2SP3060A/30120A/30160A/30320A/30520A系列数字合成扫频仪使用说明书
  4. 4.16 MB   |  3次下载  |  1 积分
  5. 3具有双通道 DC-DC转换器、由串行接口控制的9通道电机驱动器TPIC2010数据表
  6. 1.15MB   |  2次下载  |  免费
  7. 4USB Type-C PD快充协议智能触发芯片FS312B数据手册
  8. 0.75 MB   |  1次下载  |  免费
  9. 5USB Type_C PD快充协议智能触发芯片FS8025B数据手册
  10. 1.29 MB   |  1次下载  |  免费
  11. 6触摸按键PCB 设计要点V01
  12. 1.42 MB  |  1次下载  |  免费
  13. 7DC-DC电路(Buck)的设计与仿真
  14. 0.60 MB   |  1次下载  |  2 积分
  15. 85V升压充电两串锂电池充电管理IC FS4058数据手册
  16. 2.98 MB   |  次下载  |  免费

本月

  1. 1DCDC原理详解
  2. 0.98 MB   |  65次下载  |  免费
  3. 2allegro快速入门教程
  4. 1.98 MB   |  36次下载  |  免费
  5. 3FU-7(807)胆机原理图
  6. 11.93 MB   |  25次下载  |  1 积分
  7. 4用于汽车应用的高压电源管理IC TPS65311-Q1数据表
  8. 1.05MB   |  22次下载  |  免费
  9. 5电子元件基础知识介绍
  10. 8.76 MB   |  15次下载  |  2 积分
  11. 6华为海思Ascend 310芯片的资料说明
  12. 0.12 MB   |  10次下载  |  10 积分
  13. 7GD32F10x系列MCU用户手册
  14. 11.5MB   |  9次下载  |  免费
  15. 86A 输出电流同步降压稳压器TPS65286数据表
  16. 2.05MB   |  6次下载  |  免费

总榜

  1. 1matlab软件下载入口
  2. 未知  |  935083次下载  |  免费
  3. 2开源硬件-PMP21529.1-4 开关降压/升压双向直流/直流转换器 PCB layout 设计
  4. 1.48MB  |  420045次下载  |  免费
  5. 3Altium DXP2002下载入口
  6. 未知  |  233067次下载  |  免费
  7. 4电路仿真软件multisim 10.0免费下载
  8. 340992  |  191308次下载  |  免费
  9. 5十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
  10. 158M  |  183308次下载  |  免费
  11. 6labview8.5下载
  12. 未知  |  81567次下载  |  免费
  13. 7Keil工具MDK-Arm免费下载
  14. 0.02 MB  |  73785次下载  |  免费
  15. 8NI LabVIEW中实现3D视觉的工具和技术
  16. 未知  |  70088次下载  |  免费