资料介绍
在半导体工业中,硅晶片在从一个工序移动到下一个工序的过程中是被装在盒子里的。当盒子到达某一位置时,晶片搬运机器人就把晶片从盒子里转移到加工模块,一次一片。机器人必须跳过没有晶片的位置或者那些一个槽里不止一片晶片的位置(双槽)。为了获得这些位置信息,在机器人搬运这些晶片之前,晶片在盒子中的位置需要被定位。
这个应用实例所描述的,是一个单轴的晶片盒定位机( 如图1),这个定位机被连接一台RZO机器人(在此不做详细介绍)。机器人发出请求后,晶片定位机就驱动一个传感器对25槽晶片盒中的晶片堆进行扫描,并输出一个数字波形用来指示晶片边沿的位置。每个槽中晶片的状态是通过电机位置及与之对应的波形中的每个边沿确定的。当整个晶片盒被定位完毕后,晶片定位器会将哪个晶片槽里有东西及哪个槽是双槽的信息通过以太网报告给机器人控制器。
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