0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

金离子注入石英片制备了一种微流控泵,实现激光实时操控宏观流体运动

MEMS 来源:lp 2019-03-25 14:32 次阅读

近日,电子科技大学基础与前沿研究院王志明教授团队在《美国科学院院报》(PNAS)上发表题为“Gold Implanted Plasmonic Quartz Plate as a Launch Pad for Laser Driven Photoacoustic Microfluidic Pumps”的研究论文。通过金离子注入石英片制备了一种微流控泵,实现了激光实时操控宏观流体运动。

基础院博士后岳帅、博士生林峰和河南工程学院张秋慧副教授为共同第一作者,电子科技大学基础与前沿研究院为第一作者及第一通讯单位。电子科技大学王志明教授和美国休斯顿大学Jiming Bao教授为共同通讯作者,合作研究单位包括河南工程学院、美国休斯顿大学、美国普渡大学。

背景介绍

微泵是微流控器件的核心,在基础研究和前沿技术上有广泛的应用。根据工作原理,微泵主要可以分为两大类:机械和非机械泵。随着微机电系统的出现,由阀和薄膜等活动组件构成的微机械泵替代了宏观尺寸的机械泵。虽然非机械微泵没有活动组件,但仍然需要制备微细结构和电学接触来产生热、电、磁和超声激励来驱动流体。随着制备工艺的进步,微泵的性能也有所提升。但是,在过去的几十年里,其设计和工艺原理仍然几乎没有变化。并且,基础研究的深入发展对泵的尺寸和精确控制提出了更高的要求,传统的微机电泵的局限越来越明显。

图1:金离子注入石英片及该石英片在激光作用下产生的束流

图2:移动激光束产生的移动微泵和两束激光产生的双微泵

本文亮点

在本工作中,王志明教授团队用全新的设计和工作原理制备出了一种新型的微泵。该器件没有活动组件或电极,因此不需要微纳制备工艺。并且,该泵的尺寸、数量、位置和工作时间都可以被实时地远程及程序化控制。通过离子注入技术在石英片中注入浓度为1016/cm2的金原子,在利用我们团队之前发表在Science Advances上的光致超声,激光推动流体的原理,脉冲激光就可以实时地产生持续的超声,推动流体快速流动(如图1)。由于整个石英片的表面都被等离子层覆盖,超声波可以从其表面的任意点产生。也就是说该石英片上的任一点就是一个微流泵(如图2)。

总结与展望

该器件克服了之前光致超声需要激光束在同一点产生超声腔体的缺点。通过研究该微流泵背后的泵浦机理,探索激光、流体和超声的相互作用,可以极大地推动化学、生物医学等领域的基础研究,甚至有望将该技术推广进入到产业化应用阶段。由于光致超声的原理具有普适性,大量的吸光材料如碳纳米管、金纳米颗粒、石墨烯、二硫化钼、半导体聚合物和染料分子都有望用来产生光致超声从而进行流体控制。该研究标志着一系列微泵的产生,打开了其光流控和微流控的广泛应用。

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 超声波
    +关注

    关注

    63

    文章

    2808

    浏览量

    136725
  • 微机电系统
    +关注

    关注

    2

    文章

    120

    浏览量

    23664
  • 微流控器件
    +关注

    关注

    0

    文章

    28

    浏览量

    3135

原文标题:金粒子注入石英片制成激光驱动的微流泵

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    离子注入工艺资料~还不错哦~

    离子注入工艺资料~还不错哦~
    发表于 08-01 10:58

    离子注入技术有什么特点?

    离子注入是将离子源产生的离子经加速后高速射向材料表面,当离子进入表面,将与固体中的原子碰撞,将其挤进内部,并在其射程前后和侧面激发出个尾迹
    发表于 10-30 09:10

    寻求一种Si衬底上氮离子注入的有效单项监控手段

    如题,寻求一种Si衬底上N+离子注入的有效单项监控手段
    发表于 04-01 23:50

    4H-SiC离子注入层的欧姆接触的制备

    用氮离子注入的方法制备了4H-SiC欧姆接触层。注入层的离子浓度分布由蒙特卡罗分析软件 TRIM模拟提取,Si面4H-SiC-Ni/Cr合金欧姆接触的特性由传输线方法结构进行了测量,得
    发表于 02-28 09:38 25次下载

    什么是离子注入技术

    本文详细介绍离子注入技术的特点及性能,以及离子注入技术的英文全称。
    发表于 05-22 12:13 4948次阅读
    什么是<b class='flag-5'>离子注入</b>技术

    离子注入技术原理

    详细介绍离子注入技术的工作原理和离子注入系统原理图。
    发表于 05-22 12:24 1.9w次阅读
    <b class='flag-5'>离子注入</b>技术原理

    离子注入的特点

    离子注入的特点,与通常的冶金方法不同,离子注入是用高能量的离子注入来获得表面合金层的,因而有其特点。
    发表于 05-22 12:27 4407次阅读

    离子注入设备和方法

    离子注入设备和方法:最简单的离子注入机(图2)应包括一个产生离子离子源和放置待处理物件的靶室。
    发表于 05-22 12:29 7426次阅读
    <b class='flag-5'>离子注入</b>设备和方法

    离子注入工艺 (课程设计资料)

    离子注入是现代集成电路制造中的一种非常重要的技术,其利用离子注入实现半导体的掺杂,即将特定的杂质原子(Dopant)以离子加速的方式
    发表于 05-22 12:34 83次下载

    离子注入(Ion Implantation)教程

    离子注入是另一种对半导体进行掺杂的方法。将杂质电离成离子并聚焦成离子束,在电场中加速而获得极高的动能后,注入到硅中(称为 靶 )而
    发表于 05-22 12:40 0次下载

    离子注入技术

    电子发烧友为大家整理的离子注入技术专题有离子注入技术基本知识、离子注入技术论文及离子注入技术培训学习资料。离子注入技术就是把掺杂剂的原子引入
    发表于 05-22 16:40
    <b class='flag-5'>离子注入</b>技术

    离子注入工艺的设计与计算简介

    去它主页了解。 重点介绍激光领域用到的一款设备: 主要是注入H离子用的,可以达到400KeV的H+离子注入。 主页:http://www.nissin-ion.co.jp/en/sit
    的头像 发表于 11-20 10:03 6594次阅读

    什么是离子注入离子注入相对于扩散的优点?

    想要使半导体导电,必须向纯净半导体中引入杂质,而离子注入一种常用的方法,下面来具体介绍离子注入的概念。
    的头像 发表于 12-11 18:20 1247次阅读
    什么是<b class='flag-5'>离子注入</b>?<b class='flag-5'>离子注入</b>相对于扩散的优点?

    离子注入仿真用什么模型

    离子注入一种重要的半导体工艺,用于在材料中引入离子,改变其物理和化学性质。离子注入仿真是对离子注入
    的头像 发表于 12-21 16:38 346次阅读

    离子注入机的简易原理图

    本文介绍了离子注入机的相关原理。 离子注入机的原理是什么?
    的头像 发表于 04-18 11:31 292次阅读
    <b class='flag-5'>离子注入</b>机的简易原理图