高精度大靶面工业镜头，守护mini/micro LED的高品质生产

近年来随着高性能显示器用量需求日渐增加。为突破OLED、LCD传统的短板，FPD厂家相继推出mini-LED、micro-LED技术。基于相关半导体制程精度的提升，晶圆图像缺陷检测也需要更高精度大靶面、且适应不同波段光学镜头，基于这种综合需求茉丽特推出了大靶面高清MML5-HR60/80镜头。

一、应用场景

1、mini / micro-LED缺陷检测

在mini/Micro LED工艺中光电缺陷与结构性缺陷，会致使屏幕的显示效果不理想，严重影响用户体验。

mini / micro-LED缺陷检测

2、晶圆缺陷检测

在mini/Micro LED工艺中光电缺陷与结构性缺陷，会致使屏幕的显示效果不理想，严重影响用户体验。

晶圆缺陷检测

二、应用难点

Mini LED 与Micro LED自发光波段跨度大，普通镜头拍摄无法同时清晰对焦三个像素。

三、光学方案

可以采用MORITEX 大靶面高清5x镜头+65MP相机。根据mini LED、Micro LED显示技术的发光原理与基材不同，产生的RGB三色光的中心波长稍有区别，MORITEX在5X放大倍率φ43mm靶面的基础上，细分出了MML5-HR60DVI-43M58与MML5-HR80DVI-43M58。

四、应用优势

1、优异的色差校正

MML5-HR60DVI-43M58：在复消色差后，物方色差控制在1μ以内，侧重520~530nm波段的轴向色差校正, 适合micro-LED检测；

MML5-HR80DVI-43M58：480-660nm波段色差控制在5μ以内，侧重580nm波长的轴向色差校正，更适合miniLED检测。

两镜头在特定波长做了针对性的轴向色差校正来适应不同显示面板的检测，除此之外带有同轴光插孔，使用不同波长的光源针对同一样品分时打光时（如红色环光+蓝色点光、绿色背光+蓝色点光）也可消除因移焦造成的图像模糊。

2、更高分辨率