曝光机的配件有哪些_曝光机多少钱一台

什么是曝光机

曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。曝光机是20 世纪 60 年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来， 70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。

曝光机的基本原理

在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

曝光机的配件清单

曝光机的用途

更广范围（UV，DUV，NUV）的紫外光波长选择，出射光强范围： 8mW/cm2~40mW/cm2

支持恒定光强或恒定功率模式

广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。

常见曝光机举例：MYCRO美国制造的恩科优（N&Q）紫外曝光系统，适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系统成功地应用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或复晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。

曝光机多少钱一台

曝光机有自动和半自动之分，价格也各不一样，以下是小编在阿里巴巴找到的关于曝光机的价格，仅供参考。