全自动晶圆清洗机是如何工作的

都说晶圆清洗机是用于晶圆清洗的，既然说是全自动的。我们更加好奇的点一定是如何自动实现晶圆清洗呢？效果怎么样呢？好多疑问。我们先来给大家介绍这个根本问题，就是全自动晶圆清洗机的工作是如何实现的。

全自动晶圆清洗机工作流程一览

装载晶圆：将待清洗的晶圆放入专用的篮筐或托盘中，然后由机械手自动送入清洗槽。

清洗过程：

晶圆依次经过多个清洗槽，每个槽内有不同的清洗液和处理步骤，如预洗、主洗、漂洗等。

清洗过程中可能使用多种辅助手段以提高清洗效果，如超声波、旋转、抖动等。

超声波清洗利用超声波的空化效应产生微小气泡，气泡破裂时的冲击力可以去除晶圆表面的污染物。

化学清洗使用特定的化学溶液通过化学反应去除晶圆表面的有机物和无机物。

喷淋清洗通过高压喷淋将清洗液均匀喷洒到晶圆表面，进一步去除污染物。

干燥过程：

清洗完成后，晶圆被送入送风系统，通过吹风或烘干的方式去除表面的水分。

卸载晶圆：

干燥后的晶圆由机械手自动取出，放置在指定位置。

审核编辑 黄宇