三星智能传感器系统降低对外国传感器依赖，自主控制半导体工艺

据韩媒ETNews 12月26日报道，三星电子研发新型“智能传感器系统”，旨在精准控制半导体工艺。此举将在提升芯片制作良品率与产能效益方面发挥重要作用。

据悉，维持半导体生产过程中等离子体均匀性和密度的精细控制对于增强良率至关重要。三星新版智能传感器可深入挖掘每个环节如蚀刻、沉积及清洗的工艺效果，确保整个流程高度科学、高效。

当前，市面上大多数晶圆智能传感器源自海外市场，例如美国等地。为有效应对日渐增长的产量需求，三星决定采取自主研发策略，降低对进口传感器的依靠度。

据悉，三星电子正在研发的智能传感器体积小巧，对现有设备占用空间无显著影响，从而实现产能的有效提升。

此外，三星电子计划拓宽该技术的开发与应用领域，不仅局限于等离子体，还将着手研发适用于各类半导体工艺的SMART传感器与系统。