一篇文章看懂：什么是SENIS完全集成3轴磁传感器？

为了测量电磁铁和永久磁铁产生的从10-6到102T的非均匀磁通密度，通常使用带霍尔探头的特斯拉计。为了同时测量磁通密度的三个正交分量，需要使用三轴霍尔探头。根据目前传统的的技术水平，三轴霍尔探头由三个霍尔板组成，这三个霍尔板分别位于一个小立方体的三个相互正交的面上。单个霍尔板的尺寸及其定位公差严重限制了可实现的空间分辨率和测量磁通密度矢量的角度精度。此外，连接霍尔装置的导线中的电磁感应也限制了这种霍尔探头的有用带宽。此外，平面霍尔效应通常会产生额外的误差。在基于量子阱的霍尔板中，平面霍尔效应很弱，但问题依然存在。为了解决这个问题，在一个点上检测三个方向的磁性。SENIS开发了一种划时代的“完全集成3轴磁传感器”，使之成为可能。这就是“完全集成的三轴磁传感器”。该传感器可以在所有情况下测量精确的3D矢量，例如永磁体的邻近磁场、小线圈产生的磁场和时间变化，这在过去是不可能的。图1.传统的霍尔片3轴探头（左）和SENIS完全集成3轴磁传感器（右）

一、完全专利技术的SENIS完全集成3轴磁传感器

二、SENIS完全集成三轴磁传感器的功能

除了磁传感器外，完全集成的3轴磁传感器还集成了偏置电路和放大器，以提高频率特性和抗噪性，甚至在宽度仅为0.64 m 的单个芯片上集成了温度传感器，用于因温度变化而进行灵敏度校正。1.敏感区域仅为0.15mm × 0.1mm × 0.15mm2.3个方向相对角度误差在±0.1以内3.频率响应：高达25Khz（-3db）4.温度特性±100ppm/°C

三、SENIS完全集成三轴磁传感器放大图

四、SENIS完全集成三轴磁传感器详细信息

图2. 磁性传感器内部有5个感磁区域。通过取BZ1和BZ2的平均值，虚拟地求出By传感器位置的Bz磁场。同样地，通过取Bx1和Bx2平均值来求出By传感器位置的Bx磁场，可在同一点上收集Bx、By、Bz。

五、搭配SENIS完全集成三轴磁传感器的霍尔探头类型：

六、搭配SENIS完全集成三轴磁传感器的高斯计/特斯拉计汇总类型：

SENIS数字特斯拉计/高斯计基于SENIS的模拟磁场传感器电子设备，其顶部添加了数字模块，具有显示器，通信端口，数字数据校正等。SENTIS提供不同类型的特斯拉计，具有不同的磁性分辨率，精度，f带宽，噪声水平和功能和处理选项（手持式，台式，机架式）3MH3特斯拉计，适用于工业和实验室应用，具有良好的精度，分辨率和f带宽。3MH6台式特斯拉计，用于实验室应用，具有非常高的分辨率和精度以及良好的f带宽。3MTS手持式特斯拉计，探头支架坚固，精度高1 轴、2 轴或 3 轴 Nanoteslameter 。3NTA1，用于极低磁场。