我不允许还有人不知道半导体工艺参数对器件性能的重要性？！

COMSOL多物理场仿真软件以高效的计算性能和杰出的多场耦合分析能力实现了精确的数值仿真，已被广泛应用于各个领域的科学研究以及工程计算，为工程界和科学界解决了复杂的多物理场建模问题。

FDTD Solutions是一款非常好用的微纳光学设计工具。用户可以在软件材料中模拟和设计光学器件，计算光学数据，支持空间滤波，场极化，磁场，周期性结构，半球功率积分等，提供时域有限差分分析函数，时域有限差分（FDTD）方法是求解复杂几何图形中麦克斯韦方程组的精确严格方法。作为直接的时空解决方案，它为用户提供了有关电磁和光子学中所有类型问题的独特见解。

Sentaurus TCAD是用于模拟半导体器件和工艺的工具之一，可以帮助工程师设计电路元件，优化半导体工艺和器件性能。主要功能包括：半导体器件建模（用于建立各种半导体器件的物理模型工艺模拟）、半导体器件的制造工艺模拟（以了解工艺参数如何影响器件性能）、电子结构计算、电热仿真、光学模拟、耦合分析等。

为解决大家在以上软件仿真学习过程中遇到的问题，特举办“COMSOL光电、FDTD光学器件超表面、TCAD半导体器件仿真技术与应用”系列专题线上培训班，本次培训主办方为北京软研国际信息技术研究院，承办方互动派（北京）教育科技有限公司，会议会务合作单位为北京中科四方生物科技有限公司，具体相关事宜通知如下：

专题一 （在线直播四天）	COMSOL多物理场耦合仿真技术与应用 （详情内容点击查看） 2023年12月09日-12月10日 2023年12月16日-12月17日
专题三 （在线直播四天）	FDTD时域有限差分数值模拟方法与应用 （详情内容点击查看） 2023年12月09日-12月10日 2023年12月16日-12月17日
专题三 （在线直播三天）	TCAD半导体器件建模仿真分析与应用 （详情内容点击查看） 2023年12月22日-12月24日

报名请联系

讲师介绍

COMSOL专题讲师

来自国家“双一流”建设高校 、“211工程”“985工程”重点高校教师。

以第一/通讯作者身份著述的论文在众多顶级杂志发表：

《Nature Communications》

《 Physical Review Letters》

《Advanced Materials》

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擅长领域：微纳光子学、拓扑光子学、非厄米光子学、光芯片、电磁超材料器件等。

FDTD专题讲师

来自于国内“双一流”建设高校、“211工程”、“985工程”重点高校工作。多年致力于微纳光学的研究，有丰富的FDTD使用经验。

以第一/通讯作者身份著述的论文在众多顶级杂志发表：

《Nano Energy》

《Nanoscale》

《Optics Express》

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擅长领域：表面等离激元光学、光学传感器、光子晶体、非线性光学等。

TCAD专题讲师

来自国家“双一流”建设高校 、“211工程”“985工程”重点高校，特聘研究员团队主要负责微纳电子器件物性研究及建模。

以第一/通讯作者身份著述的论文在众多顶级杂志发表：

《Nature Communications》

《 Physical Review Letters》

《IEEE Transactions on Electron Devices》

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擅长领域：微纳电子器件、微纳光电器件、新型非易失性存储器和存算一体新型计算架构设计等。

课程大纲

COMSOL 多场耦合仿真技术与应用

（一）案列应用实操教学：
案例一	光子晶体能带分析、能谱计算、光纤模态计算、微腔腔膜求解
			案例二	类比凝聚态领域魔角石墨烯的moiré 光子晶体建模以及物理分析
案例三	传播表面等离激元和表面等离激元光栅等
案例四	超材料和超表面仿真设计，周期性超表面透射反射分析
案例五	光力、光扭矩、光镊力势场计算
案例六	波导模型（表面等离激元、石墨烯等）本征模式分析、各种类型波导传输效率求解
案例七	光-热耦合案例
案例八	天线模型
案例九	二维材料如石墨烯建模
案例十	基于微纳结构的电场增强生物探测
案例十一	散射体的散射，吸收和消光截面的计算
案例十二	拓扑光子学：拓扑边缘态和高阶拓扑角态应用仿真
案例十三	二硫化钼的拉曼散射
案例十四	磁化的等离子体、各向异性的液晶、手性介质的仿真
案例十五	光学系统的连续谱束缚态
案例十六	片上微纳结构拓扑优化设计(特殊情况下，利用二维系统来有效优化三维问题)
案例十七	形状优化反设计：利用形状优化设计波导带通滤波器
案例十八	非厄米光学系统的奇异点：包括PT对称波导结构和光子晶体板系统等
案例十九	微纳结构的非线性增强效应，以及共振模式的多极展开分析
案例二十	学员感兴趣的其他案例
（二） 软件操作系统教学：
COMSOL 软件入门	初识COMSOL仿真——以多个具体的案例建立COMSOL仿真框架，建立COMSOL仿真思路，熟悉软件的使用方法
	COMSOL软件基本操作 Ø 参数，变量，探针等设置方法、几何建模 Ø 基本函数设置方法，如插值函数、解析函数、分段函数等 Ø 特殊函数的设置方法，如积分、求极值、求平均值等 Ø 高效的网格划分
	前处理和后处理的技巧讲解 Ø 特殊变量的定义，如散射截面，微腔模式体积等 Ø 如何利用软件的绘图功能绘制不同类型的数据图和动画 Ø 数据和动画导出 Ø不同类型求解器的使用场景和方法
COMSOL 软件进阶	COMSOL中RF、波动光学模块仿真基础 Ø COMSOL中求解电磁场的步骤 Ø RF、波动光学模块的应用领域
	RF、波动光学模块内置方程解析推导 Ø 亥姆霍兹方程在COMSOL中的求解形式 Ø RF方程弱形式解析，以及修改方法(模拟特殊本构关系的物质) Ø 深入探索从模拟中获得的结果 （如电磁场分布、功率损耗、传输和反射、阻抗和品质因子等）
	边界条件和域条件的使用方法 Ø 完美磁导体和完美电导体的作用和使用场景 Ø 阻抗边界条件、过度边界条件、散射边界条件、周期性边界条件的作用 Ø 求解域条件：完美匹配层的理论基础和使用场景、 PML网格划分标准 Ø 远场域和背景场域的使用 Ø 端口使用场景和方法 Ø波束包络物理场的使用详解
	波源设置 Ø 散射边界和端口边界的使用方法和技巧（波失方向和极化方向设置、S参数、反射率和透射率的计算和提取、高阶衍射通道反射投射效率的计算） Ø 频域计算、时域计算 Ø 点源，如电偶极子和磁偶极子的使用方法
	材料设置 Ø 计算模拟中各向同性，各向异性，金属介电和非线性等材料的设置 Ø 二维材料，如石墨烯、MoS2的设置 Ø特殊本构关系材料的计算模拟(需要修改内置的弱表达式)
	网格设置 Ø 精确仿真电磁场所需的网格划分标准 Ø 网格的优化 Ø案列教学
	COMSOL WITH MATLAB功能简介 Ø COMSOL WITH MATLAB 进行复杂的物理场或者集合模型的建立(如超表面波前的衍射计算) Ø COMSOL WITH MATLAB 进行复杂函数的设置(如石墨烯电导函数的设置和仿真) Ø COMSOL WITH MATLAB 进行高级求解运算和后处理 Ø COMSOL WITH MATLAB求解具有色散材料的能带

FDTD （时域有限差分）仿真技术与应用

基础入门
			FDTD Solutions 求解物理问题的方法	Ø FDTD与麦克斯韦方程 Ø FDTD中的网格化
FDTD Solutions 功能与使用	Ø 主窗口——CAD人机交互界面 Ø 计算机辅助设计（CAD）模拟编辑器: Ø 主标题栏、工具条 Ø 实体对象树实体对象库 Ø 脚本提示与脚本编辑窗口
软件操作
几何结构	Ø 简单几何结构的添加 Ø 通过脚本添加几何结构 Ø 通过函数定义曲面
FDTD设置	Ø 计算空间的确定 Ø 各种边界条件的设定以及应用范围 Ø PML设定以及其适用条件 Ø Auto shutoff min的设定
激励光源	Ø 各种预设光源的特点 Ø 脚本添加各种光源以及设置 Ø 导入外部光源
监视器的添加与使用	Ø 各类监视器的特点与应用 Ø 脚本添加与设置监视器 Ø 脚本获取监视器数据
优化与扫描	Ø 结构参数扫描的设置 Ø 扫描结构的可视化 Ø 后续数据处理
结构组与分析组(Object library)	Ø 结构组添加与设置（以Hexagonal lattice PC array为例） Ø 分析组的添加与设置（以Power absorbed为例）
材料添加与拟合	Ø 导入材料折射率（介电常数） Ø 材料拟合（拟合公差、虚部权重）
网格设置与结果分析	Ø 对比FDTD内置网格 Ø 脚本实现结果的可视化与后期数据处理
仿真实例
Ø 金属薄膜中金纳米孔阵列透射与反射， 并考虑其近场电磁分布
Ø 利用脚本进行电磁场及其光学响应的可视化
Ø 设置EOT型超表面结构，以及Structure library的使用
Ø 结构的参数化扫描与结果可视化
Ø 利用脚本计算峰值增强因子
Ø 多层平面结构激发Tamm等离激元诱导强光学吸收
Ø 金属小球Mie散射模型构建及脚本远场近场结果可视化
Ø 利用脚本计算热载流子产生空间分布
Ø 斜入射下光学传感器的光学响应及其边界条件的设置
Ø 利用S参数分析组并通过脚本实现金属纳米小球的吸收/散射消光与近场增强的计算
Ø 热电子光探测器的电磁场空间分布与FDTD材料折射率的导出（脚本计算不同金属层的吸收）
实例进阶
Ø 平面结热电子光探测器：激发光学Tamm 态： ----（根据发表在ACS Nano上的论文）
Ø 双微腔热电子光探测器：激发微腔共振： -----(根据发表在Nanoscale上的论文)
Ø 热电子光学传感器：表面波激发： -----（根据发表在ACS Nano上的论文）
Ø 金属-介质-金属光学微腔宽带吸收器： -----（根据发表在Photonics Research上的论文）
Ø Pancharatnam-Berry型超构表面： -----（根据发表在Science上的论文）

TCAD半导体器件建模仿真分析与应用

(一) 软件操作系统教学：
			TCAD 软件入门	TCAD软件基本操作： Ø 软件的安装与配置 Ø 半导体器件建模概述 Ø 基于SDE的结构建模原理 Ø 高效的网格划分
结构建模	二维MOSFET的建模与SWB基本原理及操作： Ø SDE图形化命令，Scheme语法，结构搭建，布尔运算等 Ø 掺杂，接触定义以及网格划分 Ø 工程化计算——在SWB中操作SDE工具 Ø SWB输出文件类别和常见问题
数值求解	半导体器件数值求解： Ø 器件仿真中的物理模型（简述） Ø MOSFET静态特性求解/瞬态特性求解 Ø 隧穿模型以及NLM计算隧穿电流 Ø 碰撞电离与击穿特性仿真 Ø 基于spice模型的简单电路仿真
	SVISUAL对数据的处理： Ø 数据的可视化与导出 Ø 阈值电压，SS，开关比等参数的提取 Ø 电场、电势等其他量的可视化及参数提取
	材料设置： Ø 模型参数修改与新材料建模 Ø 二维材料,如MoS2等新型材料
	网格设置： Ø 精确仿真电磁场所需的网格划分标准 Ø 网格的优化 Ø Math设置以及求解过程优化
工艺仿真	Ø 工艺仿真原理 Ø 工艺仿真基础操作 Ø 工艺仿真中的网格设置 Ø 版图绘制基础 Ø Sprocess结构生成（沉积、刻蚀等）
(二) 案列应用实操教学：
案例一	PN结的数值计算
案例二	传统硅基MOSFET的建模和求解
案例三	MoS2 FET 建模和求解 2D材料fet仿真建模
案例四	Ga2O3 FET 建模和求解
案例五	隧穿晶体管的建模
案例六	利用课程案例实现反相器，环振的搭建与构造
案例七	基础的工艺仿真步骤操作

报名须知

时间地点

COMSOL Multiphysics专题

2023年12月09日-12月10日

2023年12月16日-12月17日

在线直播（授课四天）

FDTD Solutions专题

2023年12月09日-12月10日

2023年12月16日-12月17日

在线直播（授课四天）

TCAD专题

2023年12月22日-12月24日

在线直播（授课三天）

报名费用

（含报名费、培训费、资料费）

COMSOL专题（四天）：

每人￥4300元

FDTD Solutions专题（四天）：

每人￥4300元

TCAD专题（三天）：

每人￥3500元

费用提供用于报销的正规机打发票及盖有公章的纸质通知文件；

北京中科四方生物科技有限公司作为本次会议会务合作单位，负责注册费用收取和开具发票；如需开具会议费的单位请联系招生老师索取会议邀请函。

审核编辑 黄宇