华林科纳半导体最新自研产品----《全自动晶舟转换器》

该设备用途：硅片在加工运输过程中，需要将硅片从一个花篮内，传送到另一个花篮内，提高导片效率，同时减少人为污染。

我们华林科纳研发的全自动晶舟转换器，它是一款用于调整集成电路产线上晶圆生产材料序列位置的一款设备，主要工作任务就是对芯片生产线上的晶圆整个制造过程中，对晶圆分批、合并、翻转后进行下一道程序，而转换器就是将已经完成一道工序后的晶圆，通过分类、合并等后，再送到下一道工序中去，通俗点讲就是它就像是一条分拣传送的纽带，用于提高整个芯片生产线的效率。

因为晶圆非常的脆弱，所以合并，转移过程中，要注意晶圆的完整性，且必须要保持极高的洁净度，避免在晶圆传输过程中因为摩擦等，让晶圆表面出现磨损。

设备组成有降台和污物吹除机构，输送台底部设有花篮一升降台和花篮二升降台，花篮一升降台的移动端上设有花篮一，花篮二升降台的移动端上设有花篮二，花篮一和花篮二分别位于输送台两端，输送台的台体一端开设有用于穿过花篮一的穿槽。本设备通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过污物吹除机构来清除传送中的硅片正反两面的污物。

设备特征在于：包括平台、固定架、分体式推杆和推动装置；平台包括初始晶舟放置区和目的晶舟放置区；
固定架固定在初始晶舟放置区远离目的晶舟放置区的一端，分体式推杆顶部与固定架顶部可拆卸式连接，分体式推杆底部可拆卸式连接在推动装置的一端，推动装置另一端固定在平台上；
分体式推杆由多个推杆模块可拆卸式连接组成，最底层的推杆模块和最顶层的推杆模块分别与推动装置和固定架可拆卸式连接，推动装置能够致使推杆模块将晶圆由初始晶舟放置区推送至目的晶舟放置区。

该设备可适用于：

----可应用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.

----25、50、100、120片花篮规格可选.

----双轨道传输设计,独立运行，互不干涉.

----25花篮导入至50片花篮；25片花篮导入至100片花篮；50片花篮导入至100片花篮； 100片花篮导入100片花篮; 120片花篮导入100片花篮;

----兼容型：机械结构设计具有兼容性,单侧可以使用不同种类的花篮规格。例如:左侧机械机构同时兼容25片及100片花篮,右侧同时兼容50片花篮及100片花篮.

----采用PLC控制,取片/ 插片过程全自动；触摸屏菜单操作,简洁明了.

----可选碎片检测功能、几何尺寸检测.

----可选支持MES接口和远程诊断功能.

----可选匹配智能工厂AGV接驳口.

为更好的服务客户，我们华林科纳特别成立了监理团队，团队成员拥有多年半导体行业项目实施、监督、控制、检查经验，可对项目建设全过程或分阶段进行专业化管理与服务，实现高质量监理，降本增效。利用仿真技术可对未来可能发生的情况进行系统的、科学的、合理的推算，有效避免造成人力、物力的浪费，助科研人员和技术工作者做出正确的决策，助力工程师应对物理机械设计和耐受性制造中遇到的难题。

审核编辑 黄宇