注意！本月开始将有多项新MEMS国家标准正式实施！

9月开始，有3项新的MEMS传感器标准开始实施，整个2023年预计有7项MEMS技术新国家标准陆续实施。 随着近年来中国半导体产业的快速发展，MEMS传感器等技术标准的制定也在加快进行，MEMS标准从混乱走向秩序，领先者们正在建立领先优势和行业准入壁垒！ 对于商业竞争，我们经常听到的一句话就是：一流企业做标准，二流企业做品牌，三流企业做产品。只有掌握了标准的制定权，才是一流企业。 下文，我们来看看9月实施的MEMS技术新国家标准有哪些？我国有哪些MEMS/传感器标准团体？以及我国目前的MEMS&传感器标准建设情况。9月，这些MEMS技术新国家标准实施！今年有7项新MEMS技术标准落地！还有10项MEMS新国家标准正在起草！ 据全国标准信息公共服务平台网站显示，全国微机电技术标准化技术委员会SAC/TC336（简称“微机电标委会”）——MEMS技术国家标准主要归口单位，发布多项MEMS技术国家标准制定情况。 目前，我国MEMS技术国家标准正在实行/即将实施的有31项，10项标准已上升为IEC国际标准。其中3项标准自9月1日开始正式实施，分别是：GB/T 42191-2023MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法GB/T 42597-2023微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪GB/T 26111-2023微机电系统（MEMS）技术 术语

▲来源：全国标准信息公共服务平台 《GB/T 26111-2023微机电系统（MEMS）技术 术语》标准主要界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义，适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。 该标准文件，全部替代实施于2011年1月的旧标准GB/T 26111-2010。

▲来源：全国标准信息公共服务平台 此外，《GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》和《GB/T 42597-2023 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪》均为新设立的标准。 《GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》文件描述了 MEMS 压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法，适用于 MEMS 压阻式压力敏感器件。 《GB/T 42597-2023 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪》文件规定了陀螺仪的术语和定义、额定值、性能参数及测量方法。陀螺仪主要用于消费电子、工业和航空航天等。陀螺仪广泛采用MEMS和半导体激光器技术。 另有3项MEMS标准已通过审核将在今年12月实施，分别是：GB/T 42895-2023微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法GB/T 42896-2023微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法GB/T 42897-2023微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 值得一提的是，还有10项MEMS新标准正在起草制定中，这些标准的制定计划都是在2022年下达的。 全国微机电技术标准化技术委员会成立于2008年，目前包括即将实施的标准在内，共有31项MEMS标准，可见近年来我国MEMS标准建设正在加速。

▲来源：全国标准信息公共服务平台 我国传感器标准化情况如何？什么是全国微机电技术标准化技术委员会？我国MEMS标准情况如何？ 首先需要说明的是，目前我国并没有一个叫“全国传感器技术标准化技术委员会”的标准机构，来统一制定各种传感器标准。 这主要是因为传感器作为信息科技基础，是各种仪器仪表、物联网、汽车、消费电子、工业、航空航天等设备的关键基础零部件，种类繁多且领域跨度极大，譬如同样是压力传感器，用在消费电子跟用在工业、航空领域，技术要求、标定等等完全不一样，极难统一。 因此，传感器标准的制定归口到各领域的标准化技术委员会中，如全国汽车标准化技术委员会下面就有相关汽车传感器技术标准的制定。目前，传感器标准涉及到十几个标委会和行业归口单位，包括：SAC/TC78（半导体器件）、SAC/TC103（光学和光子学）、SAC/TC104（电工仪器仪表）、SAC/TC124（工业过程测量控制和自动化）、SAC/TC159（工业自动化系统与集成）、SAC/TC284（光辐射安全和激光设备）、SAC/TC338（测量控制和实验室电器设备安全）、SAC/TC419（仪表功能材料）、SAC/TC526（实验室仪器及设备）、机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会等等。

相比传感器领域标准化情况的复杂，MEMS技术的标准化情况就相对简单的多。 全国微机电技术标准化技术委员会SAC/TC336（简称“微机电标委会”）是我国第一个MEMS技术国家标准团体，也是我国MEMS技术标准的主要归口单位，我国多家MEMS传感器著名企业均有参与，并进行相关标准的制定工作。 微机电标委会成立于2008年，主要负责关键尺寸在微米量级内的机电一体化装置的制造加工、 设计、 集成、 可靠性评价， 及检测等共性技术领域的标准化工作。

▲来源：全国标准信息公共服务平台 微机电标委会由机械科学研究院中机生产力促进中心筹建，由国家标准化管理委员会进行业务指导，现任秘书长为李根梓博士。 目前孙立宁院士任微机电标委会主任委员，孙立宁院士是国家“十五”863计划机器人技术主题专家、国家“十五”863计划MEMS重大专项总体组组长，相关资料参看《中国MEMS专家当选俄罗斯院士！》

▲微机电技术标准体系框架，来源：《SAC/TC 336 全国微机电技术标准化技术委员会微机电技术标准体系建设工作情况》 MEMS国际标准建设方面，自二十世纪末起， 微机电系统标准化工作就引起了国外发达国家和地区的标准化机构与组织的重视，并开展了大量相关标准的研究与制定工作。 国际电工委员会在二十世纪九十年代末期，明确提出制定微机电 MEMS 标准， 并设立MEMS 工作组 （IEC/TC 47/WG 4），现已提升为分技术委员会 （IEC/TC 47/SC 47F）。这个分技术委员会也是国际标准化协会惟一一个微机电 MEMS 领域的委员会， 现在已经发布和计划制定多项 MEMS 国际标准。

此外，国际半导体设备与材料协会 （Semiconductor Equipment andMaterials International，SEMI），在 2001 年成立了 MEMS 标准化工作组， 并制定了四个方向：洁净室规范、术语、材料特性及封装与处理。 美国材料与试验协会 （ASTM） 、日本微机械中心 （MMC）均对MEMS技术的不同领域提出标准化方案。 目前，我国微机电系统标准化工作虽然落后于发达国家和地区， 但国际微机电标准化工作也处于起步阶段，我国微机电系统标准化同国外先进水平差距不大。 关键的问题是，中国的标准化团体需要积极参与国际标准的制定，从而带领国内企业参与全球化合作和竞争。还有另一个MEMS国家标准单位？多个MEMS/传感器标准化委员会有什么不同？ 此前，2023 年 4 月 6 日，全国集成电路标准化技术委员会（以下简称“集成电路标委会”）成立，这是我国集成电路领域首个一级标准化单位，由工信部直接领导。 集成电路标委会负责专业范围包括：集成电路设备、半导体集成电路、膜集成和混合膜集成电路、微波集成电路、电路模块、集成电路芯片及知识产权模块（IP核）、集成电路微电子机械系统（MEMS）等产品的设计、生产和应用。

▲来源：全国标准信息公共服务平台 可以发现，集成电路标委会也涵盖了部分MEMS标准建设的任务，据此前披露的筹建信息显示，集成电路标委会将设置4个分技术委员会，其中SC4微电子机械系统标准化分技术委员会围绕MEMS系统设计、制造、使用等相关需求，开展标准化工作。

并且，筹建文件中，强调了集成电路标委会参与国际标准化工作的职责，将对标美国SEMI（国际半导体产业协会）等国际组织，重点负责IEC/TC47/SC47A、SC47D、SC47F等国际对口标准化工作。 从上文介绍我们可以知道，IEC/TC 47/SC 47F即国际电工委员会MEMS分技术委员会。

▲分标委和工作组设置结构（来源：全国集成电路标准化技术委员会筹建申请书） 因此，微机电标委会SAC/TC336与集成电路标委会微电子机械系统标准化分技术委员会SAC/TC599/SC4，在MEMS标准建设上可能部分存在重叠。但TC336将主导主要的MEMS国家标准建设工作，而TC599/SC4则主要聚焦于集成电路领域的MEMS技术应用。 在早期的集成电路标委会筹备文件中，沈阳仪表科学研究院、必创科技、深迪半导体、格科微、大立科技、瑞声科技、歌尔股份、汉威科技等多家传感器企业，作为MEMS单位参与集成电路标委会筹建工作，这些单位亦同样深度参与了微机电标委会相关MEMS标准的建设工作。 多个MEMS技术标准分委会成立！中国MEMS标准正在不断完善！ 随着近年来MEMS技术的快速发展，以及在汽车、新能源等领域的不断渗透，MEMS技术在众多领域发挥了重要作用并亟需标准建设。 在微机电标委会SAC/TC336下，多个分委会相继成立： 2022年12月，微机电标委会SAC/TC336成立能源领域MEMS标准化研究组，聚焦能源领域的MEMS传感器技术发展及应用需求。 2023年6月，微机电标委会SAC/TC336车载MEMS标准化工作组成立，聚焦汽车领域MEMS标准体系的建设。

2023年8月，微机电标委会SAC/TC336筹备成立健康领域MEMS标准化研究组，该研究组由国家高性能医疗器械创新中心推动筹建，可见我们医疗器械领域的对MEMS技术的重视。 此外，微机电标委会SAC/TC336设立/筹备的标准化组有： 青年工作组/前沿技术研究组、MEMS器件标准化工作组、射频MEMS标准化研究组、微尺度检测标准化研究组、柔性电子标准化研究组、硅基MEMS工艺标准化研究组、能源领域MEMS技术标准化研究组、MEMS高端装备应用标准化研究组、MEMS制造能力评估标准化研究组、MEMS惯性器件与系统标准化研究组、汽车MEMS传感器标准化研究组等。 其中，多个标准化组在近几年相继成立，我国MEMS标准建设速度加快！结语 因为传感器领域的特殊性，目前我国传感器标准建设情况相对较复杂。 而MEMS国家标准主要归口单位为全国微机电技术标准化技术委员会SAC/TC336，此外，另有新设立集成电路标委会微电子机械系统标准化分技术委员会SAC/TC599/SC4，主要负责集成电路领域MEMS国家标准建设工作。 从本文分析可以看到，近年来随着我国MEMS产业的发展，以及国家对智能传感器的重视，MEMS国家标准建设速度明显加快。MEMS标准从混乱走向秩序，MEMS领先者们正在建立领先优势和行业准入壁垒，中国MEMS/传感器企业野蛮成长的时代将会结束，MEMS/传感器初创企业们要把握好这个快速成长的时代机遇！ 参与制定标准，或者成为标准！

审核编辑 黄宇