而蔡司工业CT计算机断层扫描能在前两者的基础上输出清晰的几何形状比较,还有全尺寸量测、虚拟装配检验、孔隙率及探伤分析、材料检验等功能,同时还可以用于逆向工程。
可以简单概括为,一般型蔡司工业CT不具有尺寸精度认证,所以无法保证检测精度,且多用于缺陷检测,着重于2D影像缺陷识别。而工业CT具有尺寸精度认证,能完整追溯尺寸精度,能应用于尺寸测量、失效分析、各类缺陷检测中,具有完整的定位与检测功能。

蔡司工业CT内部结构缺陷分析检测后会生成Volume data和STL三角网格资料两个主要的档案。前者主要应用于失效分析,可以透过软件来看切层影像, 能透过灰阶切层影像来做缺陷分析。在检测中常用于开发后段, 组装相关问题分析, 模块测试前后分析, 客诉件分析等。后者常见于单材料检测,可以与CAD 做比对, 量测线性尺寸, GD&T 型位公差尺寸等。常用于开发前期,进行单一零件问题解析与尺寸量测。
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