激光干涉仪sj6000高精度测量直线度、垂直度和平面度

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图

1、激光干涉仪sj6000在测量直线度方面的应用

直线度干涉镜在移动过程中产生横向或纵向位移时，两束反射光会有相对应的光程差产生，SJ6000采集到该光程差的干涉信号，经过运算处理，即可得出对应的直线度值。利用激光干涉仪进行高精度测量可以提高产品的几何精度和机械性能。

直线度测量配置
直线度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组（或长直线度镜组）、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足±3mm范围内的直线度测量。

直线度测量的光路原理构建图

直线度测量应用

导轨的直线度测量

2、激光干涉仪sj6000在测量垂直度方面的应用

垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成，详见下面垂直度测量光路原理构件图，其中直线度反射镜作为共同的参考基准，在测量过程中保持原位，且不进行调整；光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中，允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差＝光学直角尺误差－斜度θ1－斜度θ2。

垂直度测量的光路原理构建图

使用激光干涉仪可以准确测量两个面或两个轴的垂直度，从而保证被测物体在安装过程中，各个部件的相对位置关系的精度。在飞行器、船舶，以及各种大型工程中，垂直度的测量精度直接关系到设备的稳定性和运行效率。

垂直度测量配置
垂直度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组（或长直线度镜组）、垂直度镜组（含光学直角尺）、SJ6000静态测量软件等组件构成。

垂直度测量应用

垂直度测量

注：Z轴的垂直度测量需增添直线度附件。

3、激光干涉仪数据sj6000在测量平面度方面的应用

平面度指的是被测物体的表面是否满足平面或者平行于参考面的性质。平面度的测量是在角度测量的基础上进行的延伸。平面度测量一般采用“对角法”在平面上进行相应次数的角度测量，通过软件算法可将角度的变化转换为平面上高度的变化，进而得到整个平面的平面度。

平面度测量的光路原理构建图平面度测量的过程示意图

激光干涉仪sj6000可以对被测物体的表面进行高精度的测量，检测平面度误差。在航空航天、化工、机械制造等领域中，平面度的测量精度是非常重要的。

平面度测量配置
平面度测量配置主要由SJ6000主机、角度镜组、平面度镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成。其中，平面度镜组由180mm可调基板、360mm可调基板和平面度旋转镜构成。

平面度测量应用

大理石平台的平面度测量