昊衡科技|高性能OFDR--OCI1500--国产高端仪器助力国产化芯片制造

昊衡科技自主研发以OFDR为核心的高分辨光学链路诊断仪OCI，具有超高空间分辨率，能精确测量回损、插损和光谱等参数，其事件点定位精度高达0.1mm，广泛应用于光器件、光模块、硅光芯片等内部链路反射情况测量，以下为一组硅发射芯片测量。

硅发射芯片主要组件有一维光栅耦合器，可变光衰减器，强度调制器和偏振调制器。将芯片和OCI1500连接，进行反射率分布测量。

图1. 硅发射芯片链路示意图

在10μm空间分辨率下获得测试结果，其中存在多个反射峰，且与芯片内部器件一一对应。为确定反射峰位置，在调制器上施加信号，对反射峰的变化情况进行观察和分析，得到最终分析结果。

图2.硅发射芯片10μm测试结果从上述结果可以看出，高分辨光学链路诊断仪（OCI）可实现对芯片内各器件的识别、定位及回损测量。OCI设备在芯片前期研发以及后期产线产品批量合格检测中，可起到关键性作用。昊衡由衷希望，国产OFDR技术助力国产化芯片制造，加速硅光芯片项目开发、测试与生产。