我们专注于半导体量测分析设备的研发、生产和服务。l攻克关键核心技术,为晶圆、晶锭、硅材料、碳化硅等材料的生产和品质监控提供一整套完整测试和解决方案,助力半导体相关产业发展。l产品广泛应用于半导体、光伏、科研以及平板材料测试领域。
<1> 涡流法电阻率分析仪(晶锭和晶片),应用于半导体Wafer及Ingot的电阻率分析;
<2> 涡流法电阻率探头(晶锭和晶片),应用于光伏、太阳能Si片的检测;
<3> SPV法PN探头,应用于光伏、太阳能Si片的检测;
<4> 电容法厚度探头,应用于Wafer的厚度测量,分辨率0.1μm;
<5> 迁移率(霍尔)测试仪,应用于载流子迁移率及载流子浓度的测量;
<6> JPV法薄膜方阻探头及分析系统,应用于电池片方阻测量;
<7> 半自动Wafer电阻率、厚度、PN、温度分析系统(解决样片翘曲度影响)。
审核编辑黄宇
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