薄膜的这两类激光损伤您了解吗？

薄膜激光损伤的定义为由于激光作用使薄膜样品性能或者结构发生可以观察到的变化 。

薄膜的激光损伤分为两类，第一类是不可逆性损伤， 薄膜的结构和材料物性不可恢复；第二类为可逆性损伤， 此时薄膜的功能发生瞬态、可恢复变化 。

目前针对薄膜激光损伤的研究主要是提升薄膜不可逆性损伤抗性。激光损伤阈值的定义为薄膜或器件发生临界损伤时入射激光光束的能量功率密度的大小。

激光损伤阈值与材料本身的不均匀性和激光输出特性的起伏等原因有关激光损伤的发生具有一定的概率性 。激光损伤概率与能量密度关系示意图如下图

在激光作用后薄膜的激光损伤形态主要分为两种，第一种为结构损伤形态，如形变 、 相变、色变 、 熔化、炸裂 、 薄膜剥层或脱落等。第二种为功能损伤形态，如热形变 、 折射率 变化 、透射率变化 、 散射大幅增强等。
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审核编辑 ：李倩