10张高清大图！读懂十大国产MEMS厂商技术路线

在3月初举办的2023年中国MEMS制造大会（China MEMS 2023）上，公布了“2021中国MEMS十强企业”名单。该名单由中国半导体行业协会根据行业季度统计报表及各地方协会统计数据评选出。

今天我们就借用智慧芽研发情报库，从技术研发的角度分析下这十家中国MEMS头部企业各自的技术发展路线。（文章内企业排名不分先后）

一、歌尔微电子股份有限公司

歌尔微电子成立于2017年，前身为歌尔股份有限公司微电子事业群，2021年变更为歌尔微电子股份有限公司。该公司是一家以MEMS器件及微系统模组研发、生产与销售为主的半导体公司，业务涵盖芯片设计、产品开发、封装测试和系统应用等产业链关键环节，可为客户提供“芯片+器件+模组”的一站式产品解决方案。

从技术上看，歌尔微电子近几年的技术主要布局于传感器、麦克风、压电陶瓷、声能转换等细分技术领域，致力于提高MEMS麦克风信噪比、改善MEMS麦克风声学性能、实现MEMS麦克风定位功能等。

二、瑞声声学科技（深圳）有限公司

瑞声科技成立于1993年，在声学、光学、触感、传感器及半导体、精密制造等领域拥有强大的综合竞争力，致力于为智能设备提供领先的微型专有技术解决方案，在声学、光学、触觉反馈、精密制造、微机电、无线射频和天线领域拥有材料研发、仿真、算法、设计、自动化以及工艺开发等尖端技术。

从技术上看，瑞声科技近几年的技术主要布局于电声转换、麦克风、发声器件、扬声器等细分技术领域，致力于提高麦克风灵敏度、提升发声器件声学性能、提高麦克风可靠性等。

三、河北美泰电子科技有限公司

美泰科技成立于2011年，隶属于大型央企中国电科，致力于MEMS器件与系统的研发、生产和销售。该公司拥有国际先进的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备，是国内最大的MEMS高端核心芯片、器件和系统产品供应商。旗下产品覆盖MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、汽车MEMS传感器、射频（RF）MEMS器件等。

从技术上看，美泰科技近几年的技术主要布局于传感器、气体流量测量仪器、温压复合传感器、压力传感器等细分技术领域，致力于致使标定时操作简单高效、提高MEMS流量传感器的稳定性和可靠性、增加MEMS流量传感器厚度等。

四、美新半导体有限公司

美新半导体（MEMSIC）成立于1999年，是中国最早的IDM模式惯性传感器供应商之一，于2007年在美国纳斯达克上市，被誉为全球MEMS第一股。美新半导体致力于提供从MEMS传感芯片、软件算法和应用方案的一站式解决方案，拥有热式加速度计、电容式加速度计、AMR地磁传感器、低功耗霍尔开关和六轴IMU等产品。

从技术上看，美新半导体近几年的技术主要布局于半导体封装、集成式传感器、磁场传感器、微机电系统器件测试等细分技术领域，致力于提高三轴陀螺仪集成度、使三轴陀螺仪结构整体合理紧凑、提高器件可靠性等。

五、上海矽睿科技股份有限公司

矽睿科技成立于2012年，专注于高质量传感器产品的设计、制造、以及增值应用与服务，致力于成为以应用为导向的多传感器平台。该公司产品包括多款MEMS传感器，如六轴IMU、加速度计、环境传感器、组合传感器等；磁性传感器芯片，如磁力计、磁编码器、电流传感器、霍尔传感器等；及汽车与物联网智能模组和系统。

从技术上看，矽睿科技近几年的技术主要布局于半导体工艺、电子通讯、磁传感、健康监测等细分技术领域，致力于提高第三轴灵敏度、增强第三轴感应能力、提高磁传感装置感应能力及灵敏度等。

六、华润微集成电路有限公司

华润微电子是2002年华润集团收购华晶集团改组而成，已成为华润集团旗下负责微电子业务投资、发展和经营管理的高科技企业。该公司产品聚焦于功率半导体、智能传感器领域，拥有芯片设计、晶圆制造、封装测试等全产业链一体化运营能力在分立器件及集成电路领域均已具备较强的产品技术与制造工艺能力，形成了先进的特色工艺和系列化的产品线。

从技术上看，华润微电子近几年的技术主要布局于集成电路设计、无线充电、通信、恒流驱动电源等细分技术领域，致力于提高电路可靠性、减小芯片面积、降低芯片成本等。

七、苏州敏芯微电子技术股份有限公司

敏芯股份成立于2007年，于2020年8月登陆上海证券交易所科创板，为中国MEMS芯片第一股。该公司是一家专业从事微电子机械系统传感器研发设计的高新技术企业，主导推动了中国MEMS产业链构建。敏芯作为中国最早成立的MEMS研发公司之一，现已拥有完整的芯片设计、晶圆制造、封装与测试等全产业链的自主研发设计能力。

从技术上看，敏芯股份近几年的技术主要布局于传感器、半导体器件制造、麦克风、感测等细分技术领域，致力于提高器件良率和可靠性、提高压力传感器灵敏度、提高硅麦克风灵敏度和信噪比等。

八、杭州士兰微电子股份有限公司

士兰微成立于1997年，是国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一。2003年，士兰微股票在上海证券交易所挂牌交易，是第一家在中国境内上市的集成电路芯片设计企业。该公司在多个技术领域保持了国内领先的地位，如绿色电源芯片技术、MEMS传感器技术、LED照明和屏显技术、高压智能功率模块技术、第三代功率半导体器件技术、数字音视频技术等。

从技术上看，士兰微近几年的技术主要布局于开关电源、半导体制造、光源控制、微麦克风等细分技术领域，致力于提高器件可靠性、避免MEMS麦克风可靠性下降、提高器件耐压特性等。

九、西人马联合测控（泉州）科技有限公司

西人马联合测控成立于2017年，采用IDM经营模式，目前生产落地于福建6英寸FAB厂，拥有先进的MEMS / IC等硅基芯片以及非硅基芯片的设计、制造、封测能力。基于这些先进的核心技术，西人马致力于运用先进的芯片、传感器、智能数据采集模组提供产品和服务，立志成为A-IoT时代的科技引领者和全球最具价值的A-IoT基础设施供应商。

从技术上看，西人马近几年的技术主要布局于传感器、半导体器件测试、半导体封装、发光二极管等细分技术领域，致力于提高电荷输出元件灵敏度、提高结构接触刚度、提高监测精度等。

十、苏州纳芯微电子股份有限公司

纳芯微电子成立于2013年，是高性能高可靠性模拟芯片的研发设计企业，致力于为数字世界和现实世界的连接提供芯片级解决方案。2022年，纳芯微电子于上海证券交易所科创板上市。该公司聚焦于信号感知、系统互联、功率驱动三大方向，提供传感器、信号链、隔离、接口、功率驱动、电源管理等丰富的半导体产品及解决方案。

从技术上看，纳芯微电子近几年的技术主要布局于传感器、电子电路、测试测量、磁场感测等细分技术领域，致力于降低芯片功耗、提高电路可靠性、降低校准成本等。

注：技术路线图由智慧芽研发情报库生成，主要呈现该企业的代表性技术成果，不代表企业全部技术能力。

审核编辑 黄宇