虹科技术|高功率UVLED点固化光源

UV-LED是输出波长为紫外区域的发光二极管，波长范围大致为200~380nm。UV-LED具有能效高、寿命长、节能环保、使用灵活方便的特点。与低压汞灯、中高压汞灯、氙灯和准分子灯其他紫外光源相比，UV-LED光源具有辐射效率高，工作速率快、工作寿命长（1-2万小时）、环境友好不含汞、热辐射小等优异的特性。因此，UV-LED逐渐代替传统紫外光源，成为了主流的光源结构。

由于紫外线光量子具有较大的能量，因此紫外光可广泛地应用于光刻、固化、曝光等改变成分的场景。

紫外固化

紫外线固化和紫外线粘接当紫外线照射时，光敏剂吸收紫外光，使单体处于激发状态。激发的单体通过聚合反应固化为聚合物。

紫外线曝光

在光刻胶膜中发生的化学过程导致其在显影液中溶解度的增加(正胶)或减少(负胶)，从而可以产生出特定结构光刻胶膜。

光功能分子

光功能分子可以重复光引起的结构变化，因为分子在照射紫外光时会做出反应，导致结构变化，但在不同波长照射光时结构会恢复。

在实际的工业生产、科研场景和半导体制造过程中，一些场景往往需要高功率UVLED光源以保证最终的生产效果。

紫外线固化

将电子元件/汽车零件的固化、相机镜头/针头集成到、自动生产线

激励光源

荧光显微镜、荧光分析、生命科学

紫外线照射

光刻、检测设备的嵌入式、表面/外观检测

高功率 UVLED光源能够输出高功率、高稳定性的光，平稳地控制输出波长和功率，可满足生产线安装，研发过程中的高性能化学和物理过程的研究，呈现出快速且稳定的固化过程。

虹科高功率UVLED点光源是先进的紫外发光二极管光引擎，采用“UV-LED、电源和冷却系统”的集成结构，可实现多个大功率 UV-LED安装，实现业界高功率输出。

优势：

1. 实现光谱模块化

完全灵活地组合和选择可用的波长，适用于各种紫外线应用场景

多波长组合型紫外光源的优点：

创建新的固化工艺以提高性能

深度固化，实现高聚合度，提高结合强度

2.更改照射范围

由于虹科UVLED光源是点光源类型的，因此通过“改变镜头和工作距离”，可以自由改变照射范围。除了支持表面发射外，还可以将高功率光照射到狭窄区域进行冷凝。此外，由于区域是均匀的，因此可以均匀地执行任务。

可选配件：

单级或多级液体光导

聚光/聚焦光学器件

各种聚光和聚焦光学器件可用于方形、六角形或圆形曝光。

其他均质化光管可根据要求增强均匀性。

产品介绍

虹科ALE/1

ALE/1是代替以往的放电灯的高输出、高稳定的LED光源装置，先进的UVLED光引擎最多可内置5种LED，可输出多个波长（365nm，385nm，405nm，435nm）。LED模块易于更换，可灵活应对应用程序更改。

特点：

高达30W光输出

定制光谱成分（紫外线、可见光、近红外线）

适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源

闭环控制输出、以实现最大过程稳定性

易于集成到新的和现有设置中、无需外部冷却

应用：

半导体制造（曝光机、先进封装投影***、晶圆边缘曝光、光掩模检查等）

点固化在汽车、电子、光电子、制药等行业的应用

质量保证和检查（NDT）

生命科学领域的应用

虹科ALE/3

ALE/3是代替以往的水银灯的高输出LED紫外线光源装置，可内置2种LED，可同时输出多个波长，是粘合剂硬化及半导体晶片的周边曝光等应用中有效光源方案。

特点：

高达15 W光输出

可选择单光谱设置（365、385、405或435nm）和多光谱设置（365和405nm）

适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源

易于集成到新的和现有设置中、无需外部冷却

应用：

LED光源替代200W汞灯的完美解决方案

点固化在汽车、电子、光电子、制药等行业的应用

晶圆边缘曝光（WEE）在半导体制造行业的应用

质量保证和检查（NDT）

生命科学领域的应用

审核编辑黄昊宇