小微气体流量计量及国内外现状的分析

气体流量表示在单位时间内气体通过一定截面积的量。气体流量的测量和流量控制是计量科学技术的组成部分之一，在工业生产、科学研究、环境保护、能源储运核算、国防结算等诸多方面发挥着不可或缺的作用。

小微气体流量测量技术广泛应用于航空航天、半导体加工、医疗生物、电子汽车等行业。在航空航天领域，流量可以认为是评价发动机整机或部件性能的重要参数之一。航空发动机是一种结构、气动力和热力都相当复杂的动力装置，其流量测试在航空发动机测试工作中有着极其重要地位。航空发动机试验测试中高精度的气体流量测试是具有挑战性的，特别是中小型航空发动机流量测试中的很多气体流量测量，范围在几十克每秒以内甚至是零点几克每秒以内的小流量的范围，同时气流的压力、温度变化范围也很大。因此，提高航空发动机气体小流量测量精度有着极其重要的意义。

在保护环境和生态平衡中，必须对江河湖海进行水质检测和大气监测，这就需要测量污水或空气的流量；在医疗生物领域，药物的输送、微芯片点样、血流量测定等都对小微流量的测量提出了更高的要求。

随着气体小流量测试技术研究的深入，高精度、高可靠的气体小流量标准装置也不断发展。但是由于气体小流量测量的复杂性和挑战性，目前气体小流量测量的精确度和质量仍然不能满足需求，特别是小微流量的中高压计量标准缺乏，并且因为气体没有固定的体积形态，与体积标准进行比较，受环境温度以及气体压力的限制较大。

我国小微气体流量计量标准技术发展空间大。首先，我国小微气体流量计量基准覆盖面不足。无论是最小流量值还是不确定度值，我国小微气体流量基准与德国、美国、日本、韩国等均存在显著差距。

审核编辑：符乾江