高精度加速度计分辨率测试方法

加速度计作为惯性导航系统中的核心部件，广泛应用于航空航天、汽车、电子等技术领域，可以测量运载体所受线加速度的大小。分辨率作为加速度计的一个重要指标，反映出加速度计能够敏感加速度的微小极限。分辨率越高，能够敏感的加速度值越小。在高精度测量领域，分辨率这一加速度计指标备受关注。进行加速度计分辨率测试时，需要人为地给加速度计一个微小的输入，然后进行数据采集、处理。

在传统的加速度计分辨率测试中，均采用机械结构装置或改变加速度计敏感轴与水平面夹角或改变引力块与加速度计之间的间距，这都不可避免机械装置由于震动对高精度加速度计分辨率测量产生的影响。受制于测试装置的加工制造极限，这些传统测试方法只适用于一般精度的加速度计分辨率测试。

若要进行分辨率优于1×10-6g的分辨率测试，需要考虑一种全新的测试方法。

一种高精度加速度计分辨率测试方法，其特征在于：包括以下步骤：

⑴.选取两只高精度加速度计，将两只加速度计置于隔震装置上；

⑵.以差动电容法测试为基础，分别在两只加速度计传感器同一端串同一个微小电容器，改变传感器两端电容平衡时摆片的位置；

⑶.用一数字开关控制微小电容器与传感器一端构成的回路的通断，开关通断频率要与控制回路的滞后时间及工作带宽相协调，两只加速度计输出求和，用以消除共模噪声影响；

⑷.改变微小电容器的电容值，实现微小加速度的输入。

而且，步骤⑴所述的两只高精度加速度计的标度要一致或相近，标度相近是指标度差异＜1×10-3V/g。

而且，步骤⑴所述的隔震装置为隔震大理石基座。

而且，所述的微小电容器为pF电容器。