MEMS代工厂开发硅基微流控原型平台

位于比利时的MEMS代工厂X-Fab开发了一种硅基微流控原型平台，将于明年年初正式上市。

X-Fab已经开放了一系列功能，可以直接在CMOS裸片上构建微流控结构。这将允许开发新的设计和设备，用于芯片实验室、DNA测序和合成、稀有细胞分选、医疗植入物、制药研究、药物管理、食品安全测试和许多其他应用。

“微流控代表了一个极具挑战性的特定应用市场，需要完全优化的定制解决方案和大量投资，”X-Fab产品营销经理Oliver Foellmer说。“从我们与该领域相关客户的讨论中可以清楚地看出，他们需要能够从单一来源获得全面的原型设计支持。得益于我们新的微流控原型平台，我们正在帮助他们加快开发周期，降低财务门槛，从而使客户能够着手开展基于硅的创新微流控项目，并且不受其规模或能力的限制。”

设计人员将可以获得开发基于芯片的微流控子系统所需的所有关键元素--使他们能够更快地完成项目的原型设计阶段，并达到可以开始考虑规模量产的程度。通过将众多元素捆绑在一起，不再需要与许多不同的供应商合作，从而最大限度地减少复杂的多供应商项目通常会带来的集成问题。

该服务基于X-Fab的XH035 350纳米高压模拟/混合信号CMOS工艺，该工艺针对需要高信噪比的应用进行了优化，适用于各种微流控后处理活动。这些工作可以在其位于德国的MEMS制造基地进行，并使用多级掩模（MLM）技术来降低整体原型设计成本。

X-Fab已经开发了一系列标准流程模块，通过平面钝化和钝化孔，为微流控集成CMOS晶圆做初步准备。这些模块还包括附加贵金属电极（金或铂金），作为流体样品的接口，并添加干膜抗蚀剂顶层（微流体通道可在其中划线），以及可选的玻璃帽晶圆。

X-Chain合作伙伴网络中的设计、测试和交钥匙系统的供应商也可以进入，以便在创建定制芯片方面专业知识有限的客户可以获取相关服务。

客户可以直接获得X-FAB新的硅基微流控原型平台的使用权，首次原型运行计划于2021年第一季度初进行。

原文标题：X-Fab开发出硅基微流控原型平台

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责任编辑：haq