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三星要求ASML在一个月内交付9台EUV光刻设备

中国半导体论坛 2020-10-30 14:13 次阅读

据韩媒报道,三星副董事长李在镕在访问荷兰期间,在会议上要求ASML在一个月内交付三星已购买的9台EUV光刻设备。

报道称,ASML正在审查三星的要求,这部分EUV设备最早可于11月运往韩国。

据悉,三星需要EUV光刻设备来追赶已经实现5nm量产的台积电。ASML是世界上唯一的EUV设备供应商,三星打算在正在建设的平泽2号工厂和正在扩建的华城V1线中安装EUV设备。

其中,平泽2号工厂于2020年5月开始了新工艺线的建设,计划投资约10万亿韩元(约合88亿美元),于2021年下半年开始全面运营。华城工厂的V1生产线于2019年投入运营,专门用于EUV工艺。目前用于批量生产7nm芯片,并且正在扩展用于5nm及以下工艺。三星计划到2020年底将V1线的晶圆产能提升至约20,000片。

目前来看,获得EUV和进行工艺风险试产是三星最紧迫的任务。如果EUV设备被延迟,则5nm时代三星仍将丢失一部分订单。

目前,三星电子已获得10台EUV设备,并在2020年初购买了约20台。而台积电目前线上运营的EUV达20台以上,并宣布到2022年前将再购买60台EUV设备。

原文标题:军备竞赛!三星敦促ASML提前交付9台EUV!

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