电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)工艺
随着半导体技术的飞速发展，单个芯片上所能承载的晶体管数量以惊人的速度增
长，与此同时，半导体制造商们出于节约成本的需要迫切地希望单个晶圆上能够容纳更
多的芯片。这种趋势推动了半导体器件特征尺寸的显著减小，相应地也对芯片制造工艺
提出了更高的要求，其中一个具有挑战性的难题就是绝缘介质在各个薄膜层之间均匀无
孔的填充，以提供充分有效的隔离保护，包括浅槽隔离(Shallow-Trench-Isolation)，金属
前绝缘层(Pre-Metal-Dielectric)，金属层间绝缘层(Inter-Metal-Dielectric)等等。本文所介
绍的高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)工艺自20 世纪90 年代中期开始被先进的
芯片工厂采用以来，以其卓越的填孔能力、稳定的淀积质量、可靠的电学特性等诸多优
点而迅速成为0.25 微米以下先进工艺的主流。图1 所示即为在超大规模集成电路中
HDP CVD 工艺的典型应用。
随着半导体技术的飞速发展，单个芯片上所能承载的晶体管数量以惊人的速度增
长，与此同时，半导体制造商们出于节约成本的需要迫切地希望单个晶圆上能够容纳更
多的芯片。这种趋势推动了半导体器件特征尺寸的显著减小，相应地也对芯片制造工艺
提出了更高的要求，其中一个具有挑战性的难题就是绝缘介质在各个薄膜层之间均匀无
孔的填充，以提供充分有效的隔离保护，包括浅槽隔离(Shallow-Trench-Isolation)，金属
前绝缘层(Pre-Metal-Dielectric)，金属层间绝缘层(Inter-Metal-Dielectric)等等。本文所介
绍的高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)工艺自20 世纪90 年代中期开始被先进的
芯片工厂采用以来，以其卓越的填孔能力、稳定的淀积质量、可靠的电学特性等诸多优
点而迅速成为0.25 微米以下先进工艺的主流。图1 所示即为在超大规模集成电路中
HDP CVD 工艺的典型应用。
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 等离子体位移快控电源设计 5次下载
- 基于ARM的高密度高性能线STM32F103xC 0次下载
- 低温等离子体处理废气 4次下载
- 低温等离子体气体温度参数研究 6次下载
- 等离子体焊接枪的数值模拟 31次下载
- 空间等离子体鞘层的时域特性研究 17次下载
- 等离子体源离子注入技术及其应用 48次下载
- 托卡马克等离子体约束 14次下载
- 一维理想磁控等离子体激波管流动仿真 10次下载
- 斜辐照激光等离子体辐射X光子特性 15次下载
- 等离子体喷射X光时空分辨测量 16次下载
- 一种大气微波环形波导等离子体设备 14次下载
- 大气中固体燃烧等离子体与微波相互作用的实验研究 10次下载
- 电磁波在等离子体层中衰减的数值分析 26次下载
- 等离子体NOx 脱除技术概述 12次下载
- 太阳能电池中表面等离子体增强光捕获技术 497次阅读
- 等离子体清洗工艺的关键技术 等离子体清洗在封装生产中的应用 456次阅读
- 半导体绝缘介质的填充-HDPOX 3167次阅读
- 浅析多次等离子清洗对引线键合质量可靠性的影响 973次阅读
- 半导体制造之等离子工艺详解 1463次阅读
- CVD过程中的等离子工艺 1548次阅读
- 高密度的SMT贴片加工可以带来哪些好处 2600次阅读
- 如何实现高密度HD电路的设计 2523次阅读
- 高密度LED显示屏的各种工艺问题解析 1030次阅读
- PCB电路板等离子体处理的方法介绍 2611次阅读
- 区块链等离子体研究指导框架 673次阅读
- 电感耦合等离子体质谱真空阀门的原理及设计 1230次阅读
- PCB多层板举例说明等离子体处理之机理 2242次阅读
- 等离子在PCB制造中有什么明显的优势？适用于PCB哪些制造工艺应用？ 7029次阅读
- 等离子体技术废水处理工艺工艺流程 3203次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
- 0.00 MB | 1490次下载 | 免费
- 2单片机典型实例介绍
- 18.19 MB | 93次下载 | 1 积分
- 3S7-200PLC编程实例详细资料
- 1.17 MB | 27次下载 | 1 积分
- 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
- 4.28 MB | 18次下载 | 4 积分
- 5开关电源原理及各功能电路详解
- 0.38 MB | 10次下载 | 免费
- 6基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
- 0.11 MB | 4次下载 | 免费
- 7基于单片机和 SG3525的程控开关电源设计
- 0.23 MB | 3次下载 | 免费
- 8基于单片机的红外风扇遥控
- 0.23 MB | 3次下载 | 免费
本月
- 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
- 0.00 MB | 66304次下载 | 免费
- 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下载 | 免费
- 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下载 | 免费
- 5555集成电路应用800例(新编版)
- 0.00 MB | 33562次下载 | 免费
- 6接口电路图大全
- 未知 | 30320次下载 | 免费
- 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下载 | 免费
- 8开关电源设计实例指南
- 未知 | 21539次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935053次下载 | 免费
- 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
- 78.1 MB | 537791次下载 | 免费
- 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
- 未知 | 420026次下载 | 免费
- 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 5Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233046次下载 | 免费
- 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191183次下载 | 免费
- 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183277次下载 | 免费
- 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
- 未知 | 138039次下载 | 免费
工商网监
评论