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差动电容传感器越来越广泛地应用于诸如压力、
加速度、直线位移、转角等物理量的测量，其电路结构
依测量要求不同而不同．但其基本原理都是和用比斜
信号处理法以传感器电容容量的变化来反映被测量的
变化．电容变化可 是线性或非线性的。利用比倒信号
处理法可 实现棱测量的精确．线性检测。所谓比例信
号处理法即用传感器中两电容之差与两电容之和的比
值来线性地反映棱测量。因此需要专门的信号处理电
路将传感器电容变化转换为易于检测的电量，已经出
现的技术方法有开关一电容(s／c)法，模数转换(A／
D)法、电容、频率转换法、电容相位转换法等，其中适
用于CMOS集成电路的SIC 法由于时钟馈线的影响
精度较低，C／F法可rJ选到很高的精度，但由于需要微
处理器来进行比斜运锋而难以满足时实时、快速的要
求。近年来，^ 们在提高精度和速度方面不断探索，提
出了各种提高精度和速度的方法。下面介绍两种实用
的高精度、高速度差动电容传感器信号处理电路。
电容传感器
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