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离散半圆柱体电阻式气体传感器的研究_杜玉帅
气体检测技术在国民经济中占有重要地位， 目前检测气体的方法和手段已经非常多，主要包括电化学法、接触燃烧法半导体气体传感器检测法、光纤法，但是从材料的应用范围、普及程度以及实用性来看半导体气体传感器是应用最广泛的。半导体传感器包括电租式气体传感器和非电租气体传感器， 电阻式是得用其阻值变化来检测气体浓度。由于电阻式半导体传感器研究较早，到目前为止是应用最广泛的一种。电阻式半导体传感器是用氧化锡、氧化锌等金属氧化物材料制作的敏感元件，利用其阻值的变化来检测气体的浓度。随着气体传感器的应用越来越广泛，对其性能要求也提高。在科技飞速发展的时代，对气体的检测与控制都很重要。气体传感器的一个重要指标就是选择性， 目前已经有了可同时检测多种可挥发性有机化合物气体的传感器，可方便的根据目标气体更换相应敏感部件。但对于气体传感器响应时间的研究较少， 因此本文提出了一种具有快速响应的新型敏感结构，根据扩散理论分析了其响应时间，并和传统连续平面敏感结构的气体传感器进行性能比较。
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