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SRAM 故障模型的检测方法与应用
冯军宏 简维廷 刘云海
（中芯国际品质与可靠性中心, 上海,201203 ）
摘 要： 静态随机存储器（Static Random Access Memory, SRAM）的功能测试用来检测该集成电路（IC）是否有功能缺陷，而目前大部分测试程序都只是集中在如何提高IC 测试覆盖度，却很少能够做到检测IC是否有缺陷的同时分析这些缺陷的物理失效机理。本文介绍了一种利用不同测试算法组合测试的方法，在检测IC 是否有缺陷同时，还能进行失效故障模型的分析，进一步利用该故障模型可以推测出具体的物理失效机理。该方法能显著提高测试中电性失效分析（EFA）的能力，进而提高了物理失效分析和IC 制程信息反馈的效率和能力。
关键词：SRAM；测试流程；故障模型；失效机理；失效分析；电性分析
冯军宏 简维廷 刘云海
（中芯国际品质与可靠性中心, 上海,201203 ）
摘 要： 静态随机存储器（Static Random Access Memory, SRAM）的功能测试用来检测该集成电路（IC）是否有功能缺陷，而目前大部分测试程序都只是集中在如何提高IC 测试覆盖度，却很少能够做到检测IC是否有缺陷的同时分析这些缺陷的物理失效机理。本文介绍了一种利用不同测试算法组合测试的方法，在检测IC 是否有缺陷同时，还能进行失效故障模型的分析，进一步利用该故障模型可以推测出具体的物理失效机理。该方法能显著提高测试中电性失效分析（EFA）的能力，进而提高了物理失效分析和IC 制程信息反馈的效率和能力。
关键词：SRAM；测试流程；故障模型；失效机理；失效分析；电性分析
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