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微加工系统设计与控制
课程内容介绍1.主要目的:
a.在于培育学生微加工系统各项模块组件组成、设计、感测原理与机电接口控制技术。
b.了解微加工系统各项技术，包括：
制程控制、压电组件、微奈米平台进给驱动器与伺服控制、
位置量测、计算机整合精密机电系统、
微细精密加工系统之机电结构、
驱动原理以及相对加工控制之策略。
2.课程特色:
为以微奈米平台伺服控制系统为实例，说明微加工系统设计与控制概念，提供学实际设计与操作模块，培养学生系统整合与实作技术。
3.课程探讨内容:
a.智能型材料的使用，如压电、磁缩…等。
b.智能型材料的驱动原理与控制电路
c.智能型材料回授控制电路组立\流程。
d.藉以仿真软件了解材料机电特性与驱动 模式。
e.专题实作
工件夹持系统设计微小位移致动器简介（理论讲授）。
电机致动器之基本原理、内部构造、应用实例与相关研究方向（理论讲授）。
压电、磁缩致动器之基本原理、应用实例与相关参数之推导（理论讲授）。
结构仿真分析－运用有限元素法分析软件ANSYS，藉由建构相关结构体之模块化与步骤，模拟分析相关致动器微动状态 。
驱动与控制电路简介（理论讲授）
驱动电路原理与设计：电机马达驱动器、压电驱 动器、与相关材料驱动技术，BJT/MOS FET相关原理与应用（理论讲授）
控制电路原理与设计：CPLD、FPGA与DSP相关电路之 软硬件教学（理论讲授）
电路仿真分析软件：Pspice、Orcad、Protel与Matlab之运用
实验－配合致动器之驱动器与控制器之设 计与实作
精密位移与速度量测：光学感测原理与相关应用组件说明（理论讲授）
光学式、电感式、电容式高分辨率精密传感器
驱动器电子电路制作
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