非晶硅薄膜太阳能电池及制造工艺及其结构等介绍

　　非晶硅薄膜太阳能电池及制造工艺 内容提纲 一、非晶硅薄膜太阳能电池结构、制造技术简介 二、非晶硅太阳能电池制造工艺 三、非晶硅电池封装工艺 一、 非晶硅薄膜太阳能电池结构、制造技术简介 1、电池结构 分为：单结、双结、三结 2、制造技术 三种类型： ①单室，多片玻璃衬底制造技术 该技术主要以美国 Chronar、APS、EPV 公司为代表 ②多室，双片（或多片）玻璃衬底制造技 该技术主要以日本 KANEKA 公司为代表 ③卷绕柔性衬底制造技术（衬底：不锈钢、聚酰亚胺） 该技术主要以美国 Uni-Solar 公司为代表 所谓“单室，多片玻璃衬底制造技术”就是指在一个真空室内，完成 P、I、N 三层非晶硅的沉积方法。作为工业生产的设备，重点考虑生产效率问题，因此，工业生产用的“单室，多片玻璃衬底制造技术”的非晶硅沉积，其配置可以由 X 个真空室组成（X 为≥1 的正整数），每个真空室可以放 Y 个沉积夹具（Y 为≥1 的正整数），例如： •1986 年哈尔滨哈克公司、1988 年深圳宇康公司从美国 Chronar 公司引进的内联式非晶硅太阳能电池生产线中非晶硅沉积用 6 个真空室，每个真空室装 1 个分立夹具，每 1 个分立夹具装 4 片基片，即生产线一批次沉积 6×1×4=24 片基片，每片基片面积 305mm×915mm。 •1990 年美国 APS 公司生产线非晶硅沉积用 1 个真空室，该沉积室可装 1 个集成夹具，该集成夹具可装 48 片基片，即生产线一批次沉积 1×48=48 片基片，每片基片面积 760mm ×1520mm。 •本世纪初我国天津津能公司、泰国曼谷太阳公司（BangKok Solar Corp）、泰国光伏公司 （Thai Photovoltaic Ltd）、分别引进美国 EPV 技术生产线，非晶硅沉积也是 1 个真空室，真空室可装 1 个集成夹具，集成夹具可装 48 片基片，即生产线一批次沉积 1×48=48 片基片，每片基片面积 635mm×1250mm。

　　图 1、内联式单结非晶硅电池内部结构示意图